[发明专利]搬送装置以及搬送装置的控制方法

权利要求书

1.一种搬送装置，包括：

移动体；

顶板，与所述移动体相隔地设置于所述移动体的上方；

至少一个磁板，包括多个永久磁铁，所述多个永久磁铁以相邻的极性不同的方式与规定的移动方向平行地配置于所述顶板的下表面；

行进控制线圈单元，包括多个激磁线圈，所述多个激磁线圈沿着所述至少一个磁板中的规定的磁板而与所述规定的磁板相隔地设置于所述移动体的上表面；

至少两个上方间距控制线圈单元，包括多个激磁线圈，所述多个激磁线圈沿着所述至少一个磁板中与所述规定的磁板相同或不同的磁板而与所述磁板相隔地设置于所述移动体的所述上表面；及

控制装置，对所述行进控制线圈单元以及所述至少两个上方间距控制线圈单元分别供给驱动电流，使所述移动体沿着所述移动方向移动，并且对所述磁板与所述至少两个上方间距控制线圈单元的间隔即上方间距进行控制。

2.根据权利要求1所述的搬送装置，其中所述至少两个上方间距控制线圈单元隔着所述行进控制线圈单元而分别设置于所述移动方向的前后。

3.根据权利要求1所述的搬送装置，其中所述行进控制线圈单元以及所述至少两个上方间距控制线圈单元沿着所述规定的磁板设置于同一线上，

所述控制装置对所述至少两个上方间距控制线圈单元供给d轴电流作为所述驱动电流，所述d轴电流是在与由所述规定的磁板产生的磁场的方向平行的方向上产生磁场的电流，

对所述行进控制线圈单元供给与所述d轴电流正交的q轴电流作为所述驱动电流。

4.根据权利要求1所述的搬送装置，还包括位置传感器，所述位置传感器对所述移动体的所述移动方向的位置进行检测。

5.根据权利要求1所述的搬送装置，还包括至少一个上方间距传感器，所述至少一个上方间距传感器对所述上方间距的大小进行检测。

6.根据权利要求5所述的搬送装置，其中所述至少一个上方间距传感器包括至少两个上方间距传感器，所述至少两个上方间距传感器隔着所述行进控制线圈单元而分别设置于所述移动方向的前后。

7.根据权利要求1所述的搬送装置，还包括一对侧板，所述侧板与所述移动体相隔地设置于所述移动体的侧方。

8.根据权利要求7所述的搬送装置，还包括至少一个侧方间距控制线圈单元，包括与所述侧板相隔地设置于所述移动体的侧面的激磁线圈，

所述侧板的至少与所述激磁线圈的相向面为强磁性体，

所述控制装置向所述至少一个侧方间距控制线圈单元供给电流，而对所述至少一个侧方间距控制线圈单元与所述侧板之一的间隔即侧方间距进行控制。

9.根据权利要求8所述的搬送装置，还包括侧方间距传感器，所述侧方间距传感器对所述侧方间距的大小进行检测。

10.根据权利要求7所述的搬送装置，还包括辊，所述辊设置于所述移动体的侧面，与所述侧板抵接而以可旋转的方式构成。

11.根据权利要求1所述的搬送装置，其中所述控制装置以由所述移动体以及固定于所述移动体的构件所构成的可动部整体的重力和所述至少两个上方间距控制线圈单元与和所述规定的磁板相同或不同的磁板间的吸附力相匹配的方式，向所述至少两个上方间距控制线圈单元供给所述驱动电流。

12.一种搬送装置的控制方法，

所述搬送装置包括：

移动体；

顶板，与所述移动体相隔地设置于所述移动体的上方；

至少一个磁板，包括多个永久磁铁，所述多个永久磁铁以相邻的极性不同的方式与规定的移动方向平行地配置于所述顶板的下表面；

行进控制线圈单元，包括多个激磁线圈，所述多个激磁线圈沿着所述至少一个磁板中的规定的磁板而与所述规定的磁板相隔地设置于所述移动体的上表面；及

至少两个上方间距控制线圈单元，包括多个激磁线圈，所述多个激磁线圈沿着所述至少一个磁板中与所述规定的磁板相同或不同的磁板而与所述磁板相隔地设置于所述移动体的所述上表面，

所述搬送装置的控制方法对所述行进控制线圈单元供给驱动电流，使所述移动体沿着所述移动方向移动，

且对所述至少两个上方间距控制线圈单元供给驱动电流，而对所述磁板与所述至少两个上方间距控制线圈单元的间隔即上方间距进行控制。