[发明专利]一种精密光刻机的震荡抑制承接座

权利要求书

1.一种精密光刻机的震荡抑制承接座，其特征在于，包括呈一字形顺次排开的前端分座（1）、中部主体座（2）、末端维护座（3）；

前端光源分座，固定设置于工作场地，所述前端光源分座的上表面用于安装固定光源媒介；

中部主体座（2），固定设置于工作场地，所述中部主体座（2）的侧边紧贴所述前端光源分座的侧边，所述中部主体座（2）的上表面用于固定光刻机主体；

末端维护座（3），固定设置于工作场地，所述末端维护座（3）的侧边紧贴所述中部主体座（2）的侧边，且所述末端维护座（3）与前端光源分座分列在所述中部主体座（2）的两侧，所述末端维护座（3）的上表面用于固定晶圆处理装置。

2.根据权利要求1所述的一种精密光刻机的震荡抑制承接座，其特征在于，所述前端光源分座包括：

安装工作台面（11），所述安装工作台面（11）呈板状结构，所述安装工作台面（11）上嵌接有若干用于安装光源媒介的活动板（12）；

固定支柱（13），固定设置于所述安装工作台面（11）的下表面，所述固定支柱（13）为长方体块状结构；

防震支柱（14），固定设置于所述安装工作台面（11）的下表面；

所述防震支柱（14）设置于靠近所述中部主体座（2）的部位。

3.根据权利要求2所述的一种精密光刻机的震荡抑制承接座，其特征在于，所述防震支柱（14）包括：

固定底板（15），为板状结构；

工型加固架（16），固定设置于所述固定底板（15）的上端面；

上固板（17），与所述工型加固架（16）的上端固定连接；

所述防震支柱（14）上设置有下锚定装置（4）和上顶接装置（5）。

4.根据权利要求3所述的一种精密光刻机的震荡抑制承接座，其特征在于，

所述下锚定装置（4）包括：

第一支管（41），上端与所述安装工作台面（11）的下表面固定连接，下端通过锁固板（42）与所述固定底板（15）的上表面固接；

锚定杆（43），同轴设置于所述第一支管（41）内部，所述锚定杆（43）依次贯穿锁固板（42）、固定底板（15）插入工作场地，所述锚定杆（43）位于固定底板（15）下方的部位分别设有抵接卡翅（44）和倒爪（45）；

所述上顶接装置（5）包括：

第二防护管（51），上端贴近所述安装工作台面（11）的下表面，下端固定于所述上固板（17）的上表面；

套管（52），所述上固板（17）与固定底板（15）之间还设置有套管（52）；

螺杆（53），同轴内置于所述第二防护管（51）的内部，且与所述套管（52）螺纹套接，所述螺杆（53）的上端面与所述安装工作台面（11）下表面固接。