[发明专利]一种精密光刻机的震荡抑制承接座

说明书

本发明提供一种精密光刻机的震荡抑制承接座，包括呈一字形顺次排开的前端分座、中部主体座、末端维护座；前端光源分座，固定设置于工作场地，所述前端光源分座的上表面用于安装固定光源媒介；中部主体座，固定设置于工作场地；末端维护座，固定设置于工作场地，所述末端维护座的侧边紧贴所述中部主体座的侧边，且所述末端维护座与前端光源分座分列在所述中部主体座的两侧，所述末端维护座的上表面用于固定晶圆处理装置。本发明提供的一种精密光刻机的震荡抑制承接座，针对性的采用双固定结构，提供能够满足光刻机固定安装的配套承接座，以确保光刻机能够稳定精密的生产。

技术领域

本发明涉及光刻机固定设备技术领域，特别是涉及一种精密光刻机的震荡抑制承接座。

背景技术

在半导体行业中，光刻机作为其中至关重要的生产设备，其生产的精度直接决定着产品的基本性能，而光刻机对于所在生产环境极为严苛。

为了保证光刻机的安装环境，用于将其固定在工作场地的承接座就显得尤为关键。然而目前还没有满足光刻机固定安装的配套承接座，以确保光刻机能够稳定精密的生产。

发明内容

本发明的目的在于提供一种精密光刻机的震荡抑制承接座，以解决上述问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种精密光刻机的震荡抑制承接座，包括呈一字形顺次排开的前端分座、中部主体座、末端维护座；

前端光源分座，固定设置于工作场地，所述前端光源分座的上表面用于安装固定光源媒介；

中部主体座，固定设置于工作场地，所述中部主体座的侧边紧贴所述前端光源分座的侧边，所述中部主体座的上表面用于固定光刻机主体；

末端维护座，固定设置于工作场地，所述末端维护座的侧边紧贴所述中部主体座的侧边，且所述末端维护座与前端光源分座分列在所述中部主体座的两侧，所述末端维护座的上表面用于固定晶圆处理装置。

作为本发明的一种改进，所述前端光源分座包括：

安装工作台面，所述安装工作台面呈板状结构，所述安装工作台面上嵌接有若干用于安装光源媒介的活动板；

固定支柱，固定设置于所述安装工作台面的下表面，所述固定支柱为长方体块状结构；

防震支柱，固定设置于所述安装工作台面的下表面；

所述防震支柱设置于靠近所述中部主体座的部位。

作为本发明的一种改进，所述防震支柱包括：

固定底板，为板状结构；

工型加固架，固定设置于所述固定底板的上端面；

上固板，与所述工型加固架的上端固定连接；

所述防震支柱上设置有下锚定装置和上顶接装置。

作为本发明的一种改进，其特征在于，

所述下锚定装置包括：

第一支管，上端与所述安装工作台面的下表面固定连接，下端通过锁固板与所述固定底板的上表面固接；

锚定杆，同轴设置于所述第一支管内部，所述锚定杆依次贯穿锁固板、固定底板插入工作场地，所述锚定杆位于固定底板下方的部位分别设有抵接卡翅和倒爪；

所述上顶接装置包括：

第二防护管，上端贴近所述安装工作台面的下表面，下端固定于所述上固板的上表面；

套管，所述上固板与固定底板之间还设置有套管；

螺杆，同轴内置于所述第二防护管的内部，且与所述套管螺纹套接，所述螺杆的上端面与所述安装工作台面下表面固接。

本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。