[发明专利]晶圆、切割晶圆的方法、以及芯片在审
申请号: | 202110650349.X | 申请日: | 2021-06-10 |
公开(公告)号: | CN115472564A | 公开(公告)日: | 2022-12-13 |
发明(设计)人: | 张俊 | 申请(专利权)人: | 北京超摩科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/78 | 分类号: | H01L21/78 |
代理公司: | 北京恒博知识产权代理有限公司 11528 | 代理人: | 张晓芳 |
地址: | 100089 北京市海淀区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶圆 切割 方法 以及 芯片 | ||
1.一种晶圆,其特征在于,所述晶圆包括:
多个芯片;
每个芯片包括至少一个核心逻辑区;
每个核心逻辑区的外围设有保护区,每个核心逻辑区的保护区的外围设有切割区;
所述每个核心逻辑区包括用于阻断相邻核心逻辑区通信信号的隔离单元;所述切割区包括用于连接两侧核心逻辑区的电路单元。
2.根据权利要求1所述的晶圆,其特征在于,所述晶圆还包括用于提供电源信号的同一供电网格;
所述每个核心逻辑区还包括用于隔离电源信号的场效应管。
3.根据权利要求1所述的晶圆,其特征在于,所述晶圆还包括多个提供不同电源信号的供电网格;其中,所述每个核心逻辑区包括一个供电网格。
4.根据权利要求2或3所述的晶圆,其特征在于,所述每个核心逻辑区外围的保护区之间的切割区还包括用于保护所述每个核心逻辑区中电路的静电泄放单元。
5.根据权利要求1所述的晶圆,其特征在于,所述芯片包括多个核心逻辑区;其中,每个核心逻辑区设有用于检测相邻核心逻辑区之间是否通信顺畅的自测试逻辑单元。
6.根据权利要求5所述的晶圆,其特征在于,所述芯片包括用于检测至少一个核心逻辑区中的测试链是否形成闭环的回环逻辑单元。
7.根据权利要求1所述的晶圆,其特征在于,所述核心逻辑区还包括:用于控制相邻核心逻辑区之间通信信号的时钟门控逻辑单元和电源门控逻辑单元、用于消除不同时钟导致的亚稳态现象的跨时钟域同步单元、以及用于保证所述供电网格提供的电源信号稳定性的去耦电容单元。
8.根据权利要求1所述的晶圆,其特征在于,至少两个核心逻辑区在纵向上的尺寸不同;和/或,所述至少两个核心逻辑区在横向上的尺寸不同。
9.一种切割权利要求1至8中任一所述的晶圆的方法,其特征在于,所述方法包括:沿所述晶圆中一个核心逻辑区外围的保护区之间的切割区和/或多个核心逻辑区外围的保护区之间的切割区进行切割,得到多个芯片。
10.一种芯片,由切割权利要求1至8中任一项所述的晶圆获得,其特征在于,切割所述晶圆的方法为权利要求9所述的方法。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造