[发明专利]一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测方法及装置

权利要求书

1.一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测装置，包括箱体(1)、气密性检测机构(2)、强度检测机构(3)、夹持机构(4)和旋转机构(5)，其特征在于：所述气密性检测机构(2)设置于箱体(1)的顶部，所述强度检测机构(3)设置于箱体(1)内腔的下端，所述旋转机构(5)设置于箱体(1)的底部，所述夹持机构(4)设置于旋转机构(5)上；

所述气密性检测机构(2)包括气泵(201)，所述气泵(201)的出气端连通有输气管(202)，所述输气管(202)远离气泵(201)的一端贯穿至箱体(1)的内腔；

所述强度检测机构(3)包括气缸(301)、固定杆(302)、限位环(303)、固定架(304)、固定环(305)和敲击锤(306)，所述气缸(301)设置于箱体(1)内腔的下端，所述固定杆(302)与箱体(1)内腔的两侧固定连接，所述固定杆(302)的表面与限位环(303)滑动连接，所述限位环(303)的顶部与固定架(304)固定连接，所述固定架(304)的一侧通过支架与敲击锤(306)固定连接，所述固定环(305)设置于固定架(304)的内腔，所述气缸(301)的输出端与固定环(305)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测装置，其特征在于：所述夹持机构(4)包括滑杆(401)、压簧(402)、滑块(403)和挤压板(404)，所述滑杆(401)的表面与压簧(402)活动连接，所述滑杆(401)的表面与滑块(403)滑动连接，所述滑块(403)的顶部与挤压板(404)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测装置，其特征在于：所述旋转机构(5)包括电机(501)，所述电机(501)的输出端贯穿至箱体(1)的内腔并固定连接有转盘(502)。

4.根据权利要求1所述的一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测装置，其特征在于：所述箱体(1)的底部固定连接有支撑组件，且支撑组件的数量为四个。

5.根据权利要求1所述的一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测装置，其特征在于：所述箱体(1)内腔的中心处固定连接有固定板(6)，所述固定板(6)的顶部铺设有荧光粉。

6.根据权利要求3所述的一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测装置，其特征在于：所述转盘(502)顶部的两侧均开设有凹槽(7)，所述滑杆(401)与凹槽(7)的内壁固定连接，所述箱体(1)的底部固定连接有限位架(8)，所述限位架(8)内腔的底部与电机(501)固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测装置，其特征在于：所述气缸(301)的两侧均活动连接有转杆(9)，所述转杆(9)远离气缸(301)的一端与箱体(1)固定连接。

8.根据权利要求1-7任意一项所述的一种钨灯丝扫描电子显微镜检测装置的使用方法，其特征在于，其使用方法包括以下步骤：

A、首先将需测试气密性的扫描电镜的测试组件放置于固定板(6)上，然后将输气管(202)与测试组件进行连通，之后打开气泵(201)，气泵(201)将气体输送至测试组件的内腔，通过荧光粉的漂浮对测试组件的气密性进行观察；

B、然后将需要测试强度的测试组件放置于转盘(502)上，之后向两侧挤压挤压板(404)，挤压板(404)带动滑块(403)移动，滑块(403)对压簧(402)进行挤压，压簧(402)受到挤压产生反向力，将测试组件进行夹持固定；

C、之后打开电机(501)和气缸(301)，电机(501)带动转盘(502)转动，转盘(502)带动测试组件转动，同时气缸(301)带动固定环(305)移动，固定环(305)带动固定架(304)移动，固定架(304)带动敲击锤(306)移动，以此对测试组件进行击打。