[发明专利]一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测方法及装置

说明书

本发明公开了一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测方法及装置，包括箱体、气密性检测机构、强度检测机构、夹持机构和旋转机构，所述气密性检测机构设置于箱体的顶部，所述强度检测机构设置于箱体内腔的下端，旋转机构设置于箱体的底部。本发明通过气泵和输气管构成了气密性检测机构，用于对扫描电镜组件的气密性进行检测的效果，通过气缸、固定杆、限位环、固定架、固定环和敲击锤构成了强度检测机构，用于对扫描电镜组件的气密性和强度进行检测的效果，实现了对扫描电镜组件进行气密性和强度检测的目的，提高了装置的创造性和使用性，增强了使用者的使用体验，解决了目前还未出现对扫描电镜组件进行气密性和强度检测装置的问题。

技术领域

本发明涉及扫描电镜技术领域，具体为一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测方法及装置。

背景技术

扫描电镜一种新型的电子光学仪器，它具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点，数十年来，扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中，促进了各有关学科的发展，扫描电镜是利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的。

扫描电镜主要有真空系统，电子束系统以及成像系统，真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分，电子束系统由电子枪和电磁透镜两部分组成，主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象，电子经过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作用，会产生次级电子、背散射电子、欧革电子以及X射线等一系列信号，所以需要不同的探测器譬如次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然X射线信号不能用于成象，但习惯上，仍然将X射线分析系统划分到成象系统中，电子束在荧光屏上最大扫描距离和在镜筒中电子束针在试样上最大扫描距离的比值M＝l/L式中l指荧光屏长度；L是指电子束在试样上扫过的长度，这个比值是通过调节扫描线圈上的电流来改变的。

扫描电镜在生产加工后需要对其进行一系列检测，目前还没有对扫描电镜的部件进行检测的装置，因此提出一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测方法及装置。

发明内容

针对现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测方法及装置，具备对扫描电镜组件进行气密性和强度检测的优点，解决了目前还未出现对扫描电镜组件进行气密性和强度检测装置的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测方法及装置，包括箱体、气密性检测机构、强度检测机构、夹持机构和旋转机构，所述气密性检测机构设置于箱体的顶部，所述强度检测机构设置于箱体内腔的下端，所述旋转机构设置于箱体的底部，所述夹持机构设置于旋转机构上；

所述气密性检测机构包括气泵，所述气泵的出气端连通有输气管，所述输气管远离气泵的一端贯穿至箱体的内腔；

所述强度检测机构包括气缸、固定杆、限位环、固定架、固定环和敲击锤，所述气缸设置于箱体内腔的下端，所述固定杆与箱体内腔的两侧固定连接，所述固定杆的表面与限位环滑动连接，所述限位环的顶部与固定架固定连接，所述固定架的一侧通过支架与敲击锤固定连接，所述固定环设置于固定架的内腔，所述气缸的输出端与固定环固定连接。

优选的，所述夹持机构包括滑杆、压簧、滑块和挤压板，所述滑杆的表面与压簧活动连接，所述滑杆的表面与滑块滑动连接，所述滑块的顶部与挤压板固定连接。

优选的，所述旋转机构包括电机，所述电机的输出端贯穿至箱体的内腔并固定连接有转盘。

优选的，所述箱体的底部固定连接有支撑组件，且支撑组件的数量为四个。

优选的，所述箱体内腔的中心处固定连接有固定板，所述固定板的顶部铺设有荧光粉。

优选的，所述转盘顶部的两侧均开设有凹槽，所述滑杆与凹槽的内壁固定连接，所述箱体的底部固定连接有限位架，所述限位架内腔的底部与电机固定连接。