[发明专利]一种OLED及其基板清洗后风干机及其风干工艺

权利要求书

1.一种OLED及其基板清洗后风干机，其特征在于：包括风干机构、风干箱体（6）、中转搬臂（7）、中转平台（8）及下料搬臂（9），其中，上述风干箱体（6）包括二组，分别沿物料传输方向平行间隔地设置于机架（1）上，形成双风干通道；上述风干机构包括两组，两风干机构分别设置在风干箱体（6）内，风干机构包括风干载台（2）、风干搬臂（3）及风干组件，风干载台（2）及风干搬臂（3）为镂空支撑结构，待风干的OLED基板放置在风干载台（2）上，风干搬臂（3）从下方穿过风干载台（2）托住OLED基板后上升至风干载台（2）上方，沿直线运动穿过风干组件进行风干后，风干搬臂（3）下降使OLED基板经风干载台（2）支撑，风干搬臂（3）由上而下穿过风干载台（2），并从风干载台（2）下方直线返回，托取下一组OLED基板；上述中转平台（8）间隔风干箱体（6）设置于机架（1）的后端，中转搬臂（7）跨设在风干箱体（6）与中转平台（8）之间，将风干箱体（6）内风干后的OLED基板吸取搬移至中转平台（8）上；上述下料搬臂（9）设置在中转平台（8）的侧部，并向外延伸出机架（1），以便将中转平台（8）上的OLED基板取出并移送至下一工站。

2.根据权利要求1所述的一种OLED及其基板清洗后风干机，其特征在于：所述的风干箱体（6）为内侧开口的盒状结构，风干箱体（6）内沿OLED基板流动方向设有风干工位及缓存工位，风干工位及缓存工位内分别设有风干载台（2），且风干工位的前后两端开口，缓存工位的前端及顶端开口。

3.根据权利要求2所述的一种OLED及其基板清洗后风干机，其特征在于：所述的风干载台（2）包括载台支座（21）、载台支架（22）、OLED承载部及FPC承载部，其中，上述载台支座（21）竖直设置在风干箱体（6）内；上述载台支架（22）水平设置在载台支座（21）上，载台支架（22）为上下双层结构，载台支架（22）的中部形成有移动通道（A）；上述OLED承载部设置在载台支架（22）的一侧，OLED及其基板经OLED承载部支撑并吸附固定，FPC承载部设置在载台支架（22）的另一侧，连接于OLED一侧的FPC经FPC承载部支撑，且OLED承载部及FPC承载部为上下镂空结构，以便搬移及上下风干OLED基板。

4.根据权利要求3所述的一种OLED及其基板清洗后风干机，其特征在于：所述的OLED承载部包括OLED承载板（23）、OLED支条（24）、真空接头（25）及OLED吸嘴（26），其中，上述OLED承载板（23）包括至少二块，OLED承载板（23）设置在载台支架（22）的内侧，OLED承载板（23）的中部设有通槽（B）；上述OLED支条（24）包括至少二根，OLED支条（24）沿通槽（B）的两侧平行间隔地设置在OLED承载支板（23）上，相邻OLED支条（24）形成上下贯通的条状空隙，OLED支条（24）在OLED承载板（23）上形成OLED承载区域；上述OLED承载板（23）及OLED支条（24）内部分别设有气路，且OLED承载板（23）与OLED支条（24）的气路连通；上述真空接头（25）设置在OLED承载板（23）的侧部且与OLED承载板（23）内部气路连通；上述OLED吸嘴（26）包括至少二个，OLED吸嘴（26）设置在OLED支条（24）上，并与OLED支条（24）内部气路连通，OLED吸嘴（26）处产生真空负压以便向下吸附固定OLED基板；上述FPC承载部包括FPC承载板（27），FPC承载板（27）包括至少二块，FPC承载板（27）对应OLED承载板（23）水平设置在承载支架（22）的外侧，FPC承载板（27）上开设有至少二条条状缝隙。