[发明专利]一种OLED及其基板清洗后风干机及其风干工艺

说明书

本发明公开了一种OLED及其基板清洗后风干机及其风干工艺，包括风干机构、风干箱体、中转搬臂、中转平台及下料搬臂，风干箱体包括二组，分别沿物料传输方向平行间隔地设置于机架上，形成双风干通道；风干机构包括两组，两风干机构分别设置在风干箱体内，风干机构包括风干载台、风干搬臂及风干组件；中转平台间隔风干箱体设置于机架的后端，中转搬臂跨设在风干箱体与中转平台之间；下料搬臂设置在中转平台的侧部，并向外延伸出机架。本发明采用双风干通道与单次多片风干方式，有效地提升了风干效率，采用镂空式真空承载及搬移结构，在承载、搬移过程中同步完成上下面风干动作，采用可调式OLED及FPC独立吸附结构，适用于多种OLED及FPC稳定搬移。

技术领域

本发明涉及自动化设备领域，特别指一种OLED及其基板清洗后风干机及其风干工艺。

背景技术

在平板显示器件生产设备领域，涉及到的部件包括玻璃基板、盖板、FPC及各类光学膜材等，在进行平板显示器件的部件的组装、贴合等工序时，需要进行预先的加工工序。如清洗工序，是平板显示器件组装贴合时必不可少的前端工序，其作用在于将屏幕表面进行清洁。在OLED屏幕生产过程中，在OLED与上层的基板之间设有一层中间层胶，该中间层胶需要通过采用激光剥离去除，激光照射在基板表面，穿过基板后打射至中间胶层上，实现将胶层剥离功能。为保证激光有效穿透基板，减少因基板表面杂物阻挡情况，需要在激光剥离前对基板表面进行清洁。由于基板表面粘粘的杂物较难去除，一般采用的工艺为研磨清洗，即通过研磨盘贴紧基板表面，通过研磨盘旋转对基板表面进行研磨，将杂物从基板表面分离后清除。

由于OLED基板在清洁工艺过程中需要通过液体或气液混合二流体进行喷淋冲洗以便辅助提高清洁的洁净度；因此，在研磨清洁完成后会有液体残留在基板表面，在进入下一工序之前需要将残留的液体干燥去除。一般采用的干燥工艺为风干干燥，在干燥时需要对上下两面同时进行干燥，传统的风干设备无法做到在传送片状OLED的同时完成OLED上下两面的干燥；且由于风干干燥时的强风会冲击OLED，如OLED在风干过程中进行传送时无固定措施极易被强风吹动，发生位置偏移，影响风干及传送。另外，由于OLED的侧部连接有FPC，FPC形状结构、材质特性均与OLED不同，因此OLED及FPC在传送、风干及吸附搬移过程中需要采用不同的承载、吸附/搬移机构设计。另外，传统的单机式风干机，单次仅能实现单片物料风干，效率低下，无法适应高速自动化产线中的风干产能需求。

发明内容

本发明要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，提供一种采用双风干通道与单次多片风干方式，有效地提升了风干效率，采用镂空式真空承载及搬移结构，在承载、搬移过程中同步完成上下面风干动作，采用可调式OLED及FPC独立吸附结构，适用于多种OLED及FPC稳定搬移的OLED及其基板清洗后风干机及其风干工艺。

本发明采取的技术方案如下：一种OLED及其基板清洗后风干机，包括风干机构、风干箱体、中转搬臂、中转平台及下料搬臂，其中，上述风干箱体包括二组，分别沿物料传输方向平行间隔地设置于机架上，形成双风干通道；上述风干机构包括两组，两风干机构分别设置在风干箱体内，风干机构包括风干载台、风干搬臂及风干组件，风干载台及风干搬臂为镂空支撑结构，待风干的OLED基板放置在风干载台上，风干搬臂从下方穿过风干载台托住OLED基板后上升至风干载台上方，沿直线运动穿过风干组件进行风干后，风干搬臂下降使OLED基板经风干载台支撑，风干搬臂由上而下穿过风干载台，并从风干载台下方直线返回，托取下一组OLED基板；上述中转平台间隔风干箱体设置于机架的后端，中转搬臂跨设在风干箱体与中转平台之间，将风干箱体内风干后的OLED基板吸取搬移至中转平台上；上述下料搬臂设置在中转平台的侧部，并向外延伸出机架，以便将中转平台上的OLED基板取出并移送至下一工站。

优选地，所述的风干箱体为内侧开口的盒状结构，风干箱体内沿OLED基板流动方向设有风干工位及缓存工位，风干工位及缓存工位内分别设有风干载台，且风干工位的前后两端开口，缓存工位的前端及顶端开口。