[发明专利]一种铜铁双相合金EBSD分析用样品的制备方法

权利要求书

1.一种铜铁双相合金EBSD分析用样品的制备方法，其特征在于，所述方法包括：

将铜铁双相合金进行线切割，获得待处理试样；

将所述待处理试样进行研磨，后用乙醇清洗，干燥和消磁，获得磨光试样；

将所述磨光试样进行氩离子抛光，获得铜铁双相合金EBSD分析用样品；其中，所述氩离子抛光中真空度控制在5×10^-3～9×10^-3pa，所述氩离子抛光依次包括粗减阶段和精修阶段，所述粗减阶段的电压为5～7kv，所述粗减阶段的时间≥7h，所述精修阶段的电压为2～4kv，所述精修阶段的时间≥3h。

2.根据权利要求1所述的铜铁双相合金EBSD分析用样品的制备方法，其特征在于，所述氩气离子束与所述磨光试样表面所成的角度控制在85～95°。

3.根据权利要求1所述的铜铁双相合金EBSD分析用样品的制备方法，其特征在于，所述氩离子抛光采用纯度≥99.9％的氩气离子束，所述氩气离子束的离子束流量为0.1～0.15sccm。

4.根据权利要求1所述的铜铁双相合金EBSD分析用样品的制备方法，其特征在于，所述氩离子抛光中真空度控制在6×10^-3～8×10^-3pa，所述粗减阶段的电压为5.5～6.5kv，所述精修阶段的电压为2.5～3.5kv。

5.根据权利要求1所述的铜铁双相合金EBSD分析用样品的制备方法，其特征在于，所述氩离子抛光中真空度控制在7×10^-3pa，所述粗减阶段的电压为6kv，所述精修阶段的电压为3kv。

6.根据权利要求1所述的铜铁双相合金EBSD分析用样品的制备方法，其特征在于，所述研磨中，依次使用400目、600目、1000目和1500目的SiC砂纸进行多次研磨；且相邻两次研磨之间，用水清洗所述SiC砂纸和所述待处理试样，并将所述待处理试样沿同一方向旋转90°。

7.根据权利要求6所述的铜铁双相合金EBSD分析用样品的制备方法，其特征在于，所述使用400目、600目、1000目和1500目的SiC砂纸进行研磨的时间分别为2～5min。

8.根据权利要求1所述的铜铁双相合金EBSD分析用样品的制备方法，其特征在于，所述待处理试样的长度≤4mm，宽度≤4mm，厚度≤2mm。

9.根据权利要求1所述的铜铁双相合金EBSD分析用样品的制备方法，其特征在于，所述氩离子抛光的温度为20～30℃。

10.根据权利要求1所述的铜铁双相合金EBSD分析用样品的制备方法，其特征在于，所述乙醇的质量分数为95％-99％；所述干燥采用吹风机的冷风吹干。