[发明专利]一种FeSe1-x 在审
| 申请号： | 202110665675.8 | 申请日： | 2021-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN113402277A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 葛军饴;张含芳;姜琬琰 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | C04B35/547 | 分类号： | C04B35/547;C04B35/622;C23C14/34 |
| 代理公司： | 重庆市信立达专利代理事务所(普通合伙) 50230 | 代理人： | 刘洁 |
| 地址： | 200000 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 fese base sub | ||
1.一种FeSe1-xTex靶材的制备工艺，其特征在于：包括如下步骤：
步骤一：对原材料进行配比称量：铁粉为100目、硒粉为200目、碲粉为100目；
步骤二：称量后的粉末放置于玛瑙研钵中充分研磨30min，随后将研磨好的混合粉末以400Mpa的压强保持10min压制成片，封装在真空石英管中，进行第一次固相反应；
步骤三：以5℃/min的升温速率升至400℃，预反应24小时，再以5℃/min的速率升温至700℃，保温3天，随后降至室温；
步骤四：对片状混合粉末进行碾碎，研磨60min，再以400Mpa的压强保持10min压制成片，封装在真空石英管中，进行第二次固相反应；
步骤五：以2℃/min的速率升温至700℃，保温3天，随后降至室温；
步骤六：对片状混合粉末进行碾碎，研磨60min，再以400Mpa的压强保持10min压制成片，封装在真空石英管中，进行第三次固相反应；
步骤七：以2℃/min的速率升温至700℃，保温3天，随后降至室温；
步骤八：对片状混合粉末再进行碾碎，研磨60min，最后将三次烧结完成的粉胚预压成靶，用石墨纸包裹，放置在一个直径为20mm的石墨模具中；
步骤九：热压烧结：对烧结炉腔体以氩气抽洗三次，真空度保持在10-2Pa，对模具中的粉胚施加27MPa的压强，在整个烧结过程中保持该压强，以30％的输出功率经由30min升温至400℃，再以50％的输出功率经由30min升温至目标温度400℃-700℃，最终在400℃-700℃保温12小时；
步骤十：靶材的修整：将靶材表面以1500目、2000目、2500目的砂纸依次打磨，最后以型号为DNW0.5的水溶金刚石研磨膏进行抛光处理，得到一个平整光滑的靶材表面。
2.根据权利要求1所述的一种FeSe1-xTex靶材的制备工艺，其特征在于：所述的步骤一中铁粉的纯度为99.95％，硒粉、碲粉的纯度均为99.99％。
3.根据权利要求1所述的一种FeSe1-xTex靶材的制备工艺，其特征在于：所述的步骤二、四、六、八中研磨过程都在一个充满氩气保护的、水值小于0.1ppm、氧值小于0.1ppm的手套箱中进行。
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