[发明专利]掩膜组件及其制作方法在审
申请号: | 202110667213.X | 申请日: | 2021-06-16 |
公开(公告)号: | CN113403575A | 公开(公告)日: | 2021-09-17 |
发明(设计)人: | 齐英旭;卓林海;王亚;于上智;田斌;郭宏伟 | 申请(专利权)人: | 云谷(固安)科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
代理公司: | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人: | 袁榕 |
地址: | 065500 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 组件 及其 制作方法 | ||
本发明涉及一种掩膜组件及其制作方法,掩膜组件包括:掩膜框架;以及掩膜网面,掩膜网面通过多个连接点连接于掩膜框架;其中,掩膜网面包括:网面本体,具有位于网面本体的中心位置的蒸镀区域及围绕蒸镀区域设置的连接区域,网面本体通过连接区域与掩膜框架连接;多个阻挡部,位于连接区域内,多个阻挡部彼此间隔地布设于网面本体的一侧,且阻挡部具有用于容纳连接点的阻挡槽。上述掩膜组件,连接网面本体和掩膜框架的连接点位于阻挡部形成的阻挡槽内,布设于网面本体的阻挡部显著增加了连接点周围的受力面积,从而减小了单位面积所受到的拉力值,进而增加了连接点处产生的裂纹的爬坡难度,延长了掩膜组件的使用寿命。
技术领域
本发明涉及显示面板制造技术领域,特别涉及一种掩膜组件及其制作方法。
背景技术
有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)又称为有机电激光显示或有机发光半导体,OLED由于其具有的驱动电压低、主动发光、视角宽、效率高、响应速度快、易实现全彩色大面积壁挂式显示、柔性显示等诸多特点,逐渐取代液晶显示器(LiquidCrystal Display,LCD)在手机、手表、电视、电脑、车载显示屏等领域广泛应用。
在OLED制造技术中,掩模板作为真空蒸镀技术采用的至关重要的部件之一,用于控制有机材料或金属沉积在OLED基板上的位置,从而在OLED基板上形成不同形状的图案。
为了对掩膜版进行重复利用,需要对使用后的掩膜版进行超声波清洗,但是发现,在对掩膜版进行清洗的过程中,掩膜版边缘的连接点经常出现断裂,并且裂纹向外延伸至其它区域的情况,从而使掩膜版无法充分利用,进而增加了资源的浪费,提高了显示面板的生产成本。
发明内容
基于此,有必要提供一种掩膜组件及其制作方法,该掩膜组件及其制作方法可以达到有效避免在清洗过程中断裂的技术效果。
根据本申请的一个方面,提供一种掩膜组件,包括:
掩膜框架;以及
掩膜网面,所述掩膜网面通过多个连接点连接于所述掩膜框架;
其中,所述掩膜网面包括:
网面本体,具有位于网面本体的中心位置的蒸镀区域及围绕所述蒸镀区域设置的连接区域,所述网面本体通过所述连接区域与所述掩膜框架连接;
多个阻挡部,位于所述连接区域内,多个所述阻挡部彼此间隔地布设于所述网面本体的一侧,且所述阻挡部具有用于容纳所述连接点的阻挡槽。
如此,连接网面本体和掩膜框架的连接点位于阻挡部形成的阻挡槽内,布设于网面本体的阻挡部显著增加了连接点周围的受力面积,从而减小了单位面积所受到的拉力值,进而增加了连接点处产生的裂纹的爬坡难度,有效阻挡了裂纹自连接点沿远离连接点的方向延伸,最终有效防止掩膜网面在清洗过程中断裂,延长了掩膜组件的使用寿命。
在其中一个实施例中,所述阻挡部在所述网面本体上的正投影为围绕所述连接点的封闭图形。
如此,可阻挡焊点处产生的裂纹朝任意方向延伸,达到良好的防断裂效果。
在其中一个实施例中,所述阻挡部包括凸设于所述网面本体一侧的至少一挡墙;
位于最内侧的所述挡墙界定出所述阻挡槽的边界。
如此,挡墙的设置显著增加了连接点周围的受力面积,增加了裂纹的爬坡难度,有效阻挡了裂纹自焊点向外延伸,起到了更好的防断裂效果。
在其中一个实施例中,所述阻挡部包括多个挡墙。
多个挡墙的设置进一步增加了裂纹的爬坡难度。
在其中一个实施例中,多个所述挡墙围绕所述焊点彼此间隔地同轴设置。
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