[发明专利]一种卡榫及具有其的真空马达式晶圆吸盘

权利要求书

1.一种卡榫，其特征在于，所述卡榫的中部设置有避让轴段，沿着所述避让轴段的两端延伸设置有固定轴段，所述固定轴段与所述避让轴段之间设置有配合轴段，所述配合轴段的侧面至少对称设置有两个配合平面；所述固定轴段两端一大一小。

2.根据权利要求1所述的卡榫，其特征在于：所述卡榫的一端端面上设置有一字槽或十字槽。

3.根据权利要求2所述的卡榫，其特征在于：所述一字槽与配合平面相互平行设置，或者，所述十字槽中的一直槽与所述配合平面相互平行。

4.根据权利要求1所述的卡榫，其特征在于：所述配合轴段为正四面体或正八面体。

5.根据权利要求1所述的卡榫，其特征在于：所述避让轴段的直径小于所述固定轴段的直径，或者，所述避让轴段设置有贯穿孔或贯穿槽，所述贯穿孔或贯穿槽与所述配合平面相互平行设置。

6.一种具有卡榫的真空马达式晶圆吸盘，其特征在于，包括：

卡榫，其如权利要求1-5中任一项所述的卡榫；

动力单元，其输出轴的端面设置有容置所述卡榫的凹槽，所述卡榫的避让轴段位于所述输出轴的中心孔处，且所述避让轴段的直径小于所述中心孔的直径，或者，所述卡榫的贯穿孔或贯穿槽与所述中心孔相导通设置；及吸盘本体，其空心轴套设在所述动力单元的输出轴上，所述空心轴上设置有安装孔，所述安装孔、所述凹槽与所述吸盘本体的顶面相互平行设置，所述卡榫的固定轴段与所述安装孔相密封配合设置。

7.根据权利要求6所述的具有卡榫的真空马达式晶圆吸盘，其特征在于：所述卡榫的配合轴段的配合平面与所述凹槽侧面的平面配合精度为0.01mm-0.0001mm。

8.根据权利要求6所述的具有卡榫的真空马达式晶圆吸盘，其特征在于：所述固定轴段与所述安装孔过盈配合设置。

9.根据权利要求6所述的具有卡榫的真空马达式晶圆吸盘，其特征在于：所述动力单元的输出轴与所述空心轴之间设置有至少一个密封圈，所述密封圈位于所述凹槽与所述动力单元的本体之间。

10.根据权利要求6所述的具有卡榫的真空马达式晶圆吸盘，其特征在于：所述动力单元的外侧面上设置有冷却板。