[发明专利]一种光学玻璃的镀膜工艺

说明书

本发明涉及一种光学玻璃的镀膜工艺，根据待镀膜的光学玻璃的类型确定真空镀膜单元初始工作参数，真空镀膜单元根据已镀膜玻璃的膜层厚度、膜层平整度和膜层透光率计算出镀膜参考值，若是第一块光学玻璃的镀膜参考值时，则将其与预设镀膜参考值进行比较，确定下一镀膜参数；若不是，则真空镀膜单元根据上一块光学玻璃的镀膜参考值在预设镀膜参考值的不同范围，将当前的镀膜参考值直接与预设镀膜参考值进行比较，或，先确定当前光学玻璃的镀膜参考值与上一镀膜参考值的差值，将当前的镀膜参考值与预设镀膜参考值进行比较，真空镀膜单元根据比较结果对下一工作参数进行确定。通过层层调节的方式，提高了镀膜的合格率。

技术领域

本发明涉及光学玻璃的镀膜技术领域，尤其涉及一种光学玻璃的镀膜工艺。

背景技术

随着科技的发展，光学玻璃的应用领域也越来越广泛，已经用于手机、电脑、安防监控、无人驾驶车载应用、体感游戏机、人脸可视终端等摄像头模组，生产车间为千级无尘镀膜车间，主要生产工序为真空镀膜工艺，真空镀膜机工作时，需要先抽真空，使真空室处于真空状态，再进行镀膜；镀膜完成后，需要向真空室充气，而真空镀膜的镀膜过程中时常出现因各种各样的原因导致的镀膜合格率不佳的问题，真空度的过高和过低，镀膜的性能难以稳定。

现有技术中仍缺少一种根据已镀膜玻璃的镀膜情况对镀膜过程调节的反馈机制，以保证镀膜的效率和合格率的镀膜工艺。

发明内容

为此，本发明提供一种光学玻璃的镀膜工艺，用以克服现有技术中仍缺少一种根据已镀膜玻璃的镀膜情况对镀膜过程调节的反馈机制，以保证镀膜的效率和合格率的镀膜工艺的问题。

为实现上述目的，本发明提供一种光学玻璃的镀膜工艺，包括：

步骤S1，传送单元将待镀膜的光学玻璃传送至清洗单元处，清洗单元对待镀膜的光学玻璃进行清洗，所述传送单元将清洗后的光学玻璃传送至吹干单元，所述吹干单元对清洗后的光学玻璃进行吹干；

步骤S2，所述传送单元将吹干后的待镀膜光学玻璃传输至真空镀膜单元，所述真空镀膜单元根据待镀膜的光学玻璃的类型确定真空镀膜单元的初始工作参数，其中，初始工作参数包括真空镀膜单元的真空度、溅射电流和溅射时间；

步骤S3，所述真空镀膜单元接收设置在真空镀膜单元内的真空计的实时真空度并控制真空泵以使真空腔内的真空度达到预设真空度后，对待镀膜的光学玻璃按照预设的溅射电流和溅射时间进行真空溅射镀膜；

步骤S4，所述真空镀膜单元对镀膜后的光学玻璃进行充气操作后经传送单元传送至质检单元，经质检单元检测合格后传输至合格单元，检验不合格的传输至不合格单元，所述质检包括对光学玻璃镀膜后的膜层厚度检测、膜层平整度检测和膜层透光率检测；

步骤S5，所述真空镀膜单元接收质检单元传输的已镀膜玻璃的膜层厚度、膜层平整度和膜层透光率计算出镀膜参考值，若计算出的镀膜参考值是第一块光学玻璃的镀膜参考值时，则直接将第一块光学玻璃的镀膜参考值与预设镀膜参考值进行比较，确定下一块待镀膜的光学玻璃的镀膜参数；

步骤S6，若计算出的镀膜参考值不是第一块光学玻璃的镀膜参考值时，则所述真空镀膜单元根据上一块光学玻璃的镀膜参考值在预设镀膜参考值的不同范围，将当前光学玻璃的镀膜参考值直接与预设镀膜参考值进行比较，或，先确定当前光学玻璃的镀膜参考值与上一块光学玻璃的镀膜参考值的差值范围，再将当前光学玻璃的镀膜参考值与预设镀膜参考值进行比较，所述真空镀膜单元根据比较结果对下一块光学玻璃的工作参数进行确定。

进一步地，在所述步骤S4中，所述质检单元对镀膜后的光学玻璃进行质检，并将检测到的膜层厚度、平整度和透光率的数据信息传输至真空镀膜单元，所述真空镀膜单元接收镀膜后的光线玻璃的膜层厚度、平整度和透光率信息并计算出镀膜参考值x，

x＝0.3×H/H0+0.4×P/P0+0.3×G/G0