[发明专利]一种基于双轴MEMS微镜的视觉检测系统

权利要求书

1.一种基于双轴MEMS微镜的视觉检测系统，包括检测模块(1)、图像收集模块(2)、图像分析与检测模块(3)、数据收集与处理模块(4)、仪器模块(5)、摄像机模块(6)、信号采收集适配器模块(7)、任意波形发生器模块(8)，其特征在于，所述检测模块(1)与图像收集模块(2)相互连接，所述图像分析与检测模块(3)与检测模块(1)相互连接、所述数据收集与处理模块(4)与检测模块(1)相互连接、所述仪器模块(5)与检测模块(1)相连接，所述检测模块(1)互相连接图像分析与检测模块(3)，所述检测模块(1)互相连接仪器模块(5)，所述图像收集模块(2)相连接摄像机模块(6)，所述信号收集适配器与数据收集与处理模块(4)相连接，所述任意波形发生器模块(8)与仪器模块(5)相连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于双轴MEMS微镜的视觉检测系统，其特征在于，所述仪器模块(5)可以将若干台装置连接到一起，使这些装置能够组成一个自动测试的系统。

3.根据权利要求1所述的一种基于双轴MEMS微镜的视觉检测系统，其特征在于，所述任意波形发生器模块(8)可见信号源在电子实验和测试处理中，并不测量任何参数而是根据使用者的要求，仿真各种测试信号，提供给被测电路，以达到测试的需要。

4.根据权利要求1所述的一种基于双轴MEMS微镜的视觉检测系统，其特征在于，所述图像分析与检测模块(3)可以完成输送到检测模块(1)内大量图像的分析与测量。

5.根据权利要求1所述的一种基于双轴MEMS微镜的视觉检测系统，其特征在于，所述信号收集适配器模块能更简便的连接具备共用端子口的携带式电子设备和外部设备。

6.根据权利要求1所述的一种基于双轴MEMS微镜的视觉检测系统，其特征在于，所述图像收集模块(2)可以精准的采集到从摄像机模块(6)传输过来的图像。

7.根据权利要求1所述的一种基于双轴MEMS微镜的视觉检测系统，其特征在于，所述检测模块(1)对检测的环境、激励、被测器件的供电进行控制,通过总线完成相关仪器的控制,实现测控的集成化和自动化。

8.根据权利要求1所述的一种基于双轴MEMS微镜的视觉检测系统，其特征在于，所述检测模块(1)通过信号收集适配器模块完成对不同MEMS器件各种被测信号的调理,使其满足信号采集的要求。