[发明专利]一种基于双轴MEMS微镜的视觉检测系统

说明书

本发明公开了一种基于双轴MEMS微镜的视觉检测系统包括检测模块、图像收集模块、图像分析与检测模块、数据收集与处理模块、仪器模块、摄像机模块、信号采收集适配器模块、任意波形发生器模块，所述检测模块与图像收集模块相互连接，所述图像分析与检测模块与检测模块相互连接、所述数据收集与处理模块与检测模块相互连接、所述仪器模块与检测模块相连接，所述检测模块互相连接图像分析与检测模块，所述检测模块互相连接仪器模块，所述图像收集模块相连接摄像机模块。本发明采用了亚像元定位技术,系统具有较高的测量精度，应用表明该系统具有较好的灵活性和扩充性,测量速度快,检测简便,有较好的工程应用价值。

技术领域

本发明涉及检测技术领域，尤其涉及一种基于双轴MEMS微镜的 视觉检测系统。

背景技术

近年来，随着MEMS的迅猛发展，对其检测系统提出了很高的要 求,MEMS器件除了电子系统外还包含了非电子系统,对MEMS除了进 行相关的电子学检测外,还应包括微机械结构和形貌检测、微机械力 学与动态特性检测、微机械光学特性检测等,因此MEMS的检测要比集 成电路的检测更为复杂。MEMS检测系统对精密光学制造、高精度的 光电传感器、精密机械的加工、精细控制、微弱信号的变换与检测等 提出来很高的要求。MEMS测试技术的研究在国际上已引起了高度重 视,针对不同的MEMS器件和应用目的,已经研制开发出一些有实用[1 价值的测试仪器,如美国UC Berkeley大学BSAC研究中心研制的 MEMS动态特性测试仪],[2MIT的Freeman教授领导的研究小组研制 的基于计算机视觉的MEMS测试系统],美国[3Sandian国家实验室研 制的MEMS器件可靠性测试系统]等；国外一些公司正在研制开发集 [6[7成化的MEMS综合测试系统,基于计算机视觉的图像测量是近 年来在测量领域中发展起来的崭新技术,它以光学为基础,融光电子 学、计算机技术、激光技术、图像处理技术等现代科学技术为一体, 组成光、机、电、算综合测量系统,是解决MEMS测试的一个有效途径。

MEMS的检测必须解决好MEMS器件的多样性和检测系统专用性的 矛盾，高速运动和低速摄像的矛盾，同时MEMS正处于迅速发展之中, 各种新技术、新器件不断涌现,在加工过程中涉及到很多新工艺、新 方法，现有的检测系统没有很好的灵活性和扩充性，很难满足自动检 测的要求，为此，我们提出一种基于双轴MEMS微镜的视觉检测系统 来解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中MEMS器件的多样性和检测 系统专用性的矛盾，高速运动和低速摄像的矛盾问题，而提出的一种 基于双轴MEMS微镜的视觉检测系统。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种基于双轴MEMS微镜的视觉检测系统，包括检测模块、图像 收集模块、图像分析与检测模块、数据收集与处理模块、仪器模块、 摄像机模块、信号采收集适配器模块、任意波形发生器模块，所述检 测模块与图像收集模块相互连接，所述图像分析与检测模块与检测模 块相互连接、所述数据收集与处理模块与检测模块相互连接、所述仪 器模块与检测模块相连接，所述检测模块互相连接图像分析与检测模 块，所述检测模块互相连接仪器模块，所述图像收集模块相连接摄像 机模块，所述信号收集适配器与数据收集与处理模块相连接，所述任 意波形发生器模块与仪器模块相连接。

优选的，所述仪器模块可以将若干台装置连接到一起，使这些装 置能够组成一个自动测试的系统。

优选的，所述任意波形发生器模块可见信号源在电子实验和测试 处理中，并不测量任何参数而是根据使用者的要求，仿真各种测试信 号，提供给被测电路，以达到测试的需要。

优选的，所述图像分析与检测模块可以完成输送到检测模块内大 量图像的分析与测量。

优选的，所述信号收集适配器模块能更简便的连接具备共用端子 口的携带式电子设备和外部设备。

优选的，所述图像收集模块可以精准的采集到从摄像机模块传输 过来的图像。