[发明专利]一种精密金属掩膜版张网拉伸精确度检测方法

权利要求书

1.一种精密金属掩膜版张网拉伸精确度检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：在精密掩膜版的两侧长边中点对称焊接有校准点(3)；所述校准点(3)在检测完毕后需要切除；

S2：以两个校准点(3)的中点为原点建立直角坐标系，将掩膜版(1)分割成四个象限块；

S3：在四个象限块内选取四个激光标记点a，b，c，d；所述激光标记点a，b，c，d依次两两关于坐标轴对称；

S4：计算激光标记点a，b，c，d的拉伸后理论点A₁，B₁，C₁，D₁；所述S4具体包括：记录掩膜版(1)拉伸前的长边长度E₁和拉伸后的长边长度E₂，计算长边长度E₁与长边长度E₂的比例系数为记录掩膜版(1)拉伸前的宽边长度F₁和拉伸后的宽边长度F₂，计算宽边长度F₁与宽边长度F₂的比例系数β，设激光标记点a坐标为(x,y)，则拉伸后理论点A₁的坐标则为

S5：检测并获取四个激光标记点a，b，c，d在拉伸后的掩膜版(1)实际位置点A₂，B₂，C₂，D₂坐标；

S6：设定误差阈值μ为30μm，分别计算实际位置点A₂，B₂，C₂，D₂与对应的理论点A₁，B₁，C₁，D₁的绝对距离L；

S7：所有点的绝对距离L都小于误差阈值μ时，则为合格。