[发明专利]一种精密金属掩膜版张网拉伸精确度检测方法

说明书

本发明提供一种精密金属掩膜版张网拉伸精确度检测方法，本发明方法在拉伸前的掩膜版上设置激光标记点，通过实际点与理论点之间的距离来检测是否合格，可以在掩膜版用于蒸镀之前对掩膜版张网精确度进行检测，防止掩膜版投入使用后才发现张网不合格导致的蒸镀材料以及设备使用的能源浪费，而且本发明方法操作简单，检测效率高。

技术领域

本发明属于掩膜版技术领域，尤其是涉及一种精密金属掩膜版张网拉伸精确度检测方法。

背景技术

有机发光二极管(OLED，Organic Light Emitting Diode)显示是一种应用在平板显示领域的新技术，因其具有包括广视角、广色域、高对比度、低功耗等优点，近年来发展迅速并已成功量产。

在生产OLED显示屏的过程中，多层金属材料、无机材料或有机材料需采用蒸镀的方式逐层沉积到玻璃基板上。在蒸镀制程中，金属掩膜版被用来遮挡待蒸镀的玻璃基板以形成特定图案，金属掩膜版可以分为普通金属掩膜版(Common Metal Mask，缩写：CMM)和高精度的精细金属掩膜版(Fine Metal Mask，缩写：FMM)，分别用于不同膜层的沉积。在蒸镀前，需要使用张网设备将网格状的CMM或多张条状的FMM对位并焊接到金属掩膜版框架上，这种工艺被称为张网工艺。在张网过程中，为了保证各发光层能够被蒸镀在玻璃基板正确的位置上，张网过程中需要对CMM或FMM的每个端部施加一定的拉力并使得其上的每一个标记点都对位到需求的精度规格内，然后将其焊接到掩膜框架上。

然而金属掩膜版的本身材质制作不均匀和张网机张网拉力不均匀因素都会导致掩膜版上的内部特定图案发生畸变或者相对位置发生变化，也就会导致蒸镀不良率大大提升，所以在将掩膜版用于蒸镀之前需要对张网后的掩膜版进行精度检测。

发明内容

本发明的目的是针对上述问题，提供一种精密金属掩膜版张网拉伸精确度检测方法，包括以下步骤：

S1：在精密掩膜版的两侧长边中点对称焊接有校准点；

S2：以两个校准点的中点为原点建立直角坐标系，将掩膜版分割成四个象限块；

S3：在四个象限块内选取四个激光标记点a，b，c，d；

S4：计算激光标记点a，b，c，d的拉伸后理论点A1，B1，C1，D1；

S5：检测并获取四个激光标记点a，b，c，d在拉伸后的掩膜版实际位置点A2，B2，C2，D2坐标；

S6：设定误差阈值μ，分别计算实际位置点A2，B2，C2，D2与对应的理论点A1，B1，C1，D1的绝对距离L；

S7：所有点的绝对距离L都小于误差阈值μ时，则为合格。

进一步的，所述S4具体包括：记录掩膜版1拉伸前的长边长度E₁和拉伸后的长边长度E₂，计算长边长度E₁与长边长度E₂的比例系数记录掩膜版1拉伸前的宽边长度F₁和拉伸后的宽边长度F₂，计算宽边长度F₁与宽边长度F₂的比例系数β，设激光标记点a坐标为(x，y)，则拉伸后理论点A1的坐标则为

进一步的，所述步骤S1中焊接的校准点在检测完毕后需要切除。

进一步的，所述激光标记点a，b，c，d依次两两关于坐标轴对称，设置对称主要是为了反映拉力不均匀区域以及起到对比的作用。

进一步的，所述误差阈值μ为30μm。

与现有的技术相比具有以下有益效果：