[发明专利]一种高精度微流量调节阀

权利要求书

1.一种高精度微流量调节阀，其特征在于：包括壳体，壳体为中空的筒状结构，壳体的一端与阀座连接，阀座的杆状部与壳体的壁面紧密贴合，阀座的杆状部中开有通孔，锁紧螺母与壳体通过螺纹连接并与阀座贴紧，圆筒状压电陶瓷堆栈放置装配在壳体内，压电陶瓷堆栈的一端与壳体的内壁贴合，压电陶瓷堆栈的另一端与平板弹簧阀杆的圆形板状结构的端面贴合，平板弹簧阀杆中间具有一杆状结构，一端具有圆形板状结构，阀座的杆状部与平板弹簧阀杆的杆状部贴合压紧实现密封，介质入口与壳体的一端连接。

2.如权利要求1所述的一种高精度微流量调节阀，其特征在于：所述的阀座的通孔为拉法尔喷管形状，阀座的头部开有空腔，其空腔的直径大于杆状部通孔的直径。

3.如权利要求1所述的一种高精度微流量调节阀，其特征在于：所述的锁紧螺母的中间开有与阀座的头部的空腔直径相同的通孔。

4.如权利要求1所述的一种高精度微流量调节阀，其特征在于：所述的压电陶瓷堆栈通过压电陶瓷正极电缆与正极焊接件进行正极焊接，正极焊接件通过正极引出电缆将正极从壳体引出。

5.如权利要求1所述的一种高精度微流量调节阀，其特征在于：所述的压电陶瓷堆栈通过压电陶瓷负极电缆与负极焊接件焊接，负极焊接件通过负极引出电缆将负极从阀体引出。

6.如权利要求4所述的一种高精度微流量调节阀，其特征在于：所述的正极导线密封件与壳体实现过盈安装和连接，正极导线密封件与正极焊接件实现过盈安装和连接。

7.如权利要求5所述的一种高精度微流量调节阀，其特征在于：所述的负极导线密封件与壳体实现过盈安装和连接，负极导线密封件与负极焊接件实现过盈安装和连接。

8.如权利要求1所述的一种高精度微流量调节阀，其特征在于：所述的平板弹簧阀杆的圆形板状结构上开有通气孔。

9.如权利要求8所述的一种高精度微流量调节阀，其特征在于：所述的通气孔包括四组，四组通气孔相互之间均匀分布在平板弹簧阀杆的圆形板状结构上。

10.如权利要求9所述的一种高精度微流量调节阀，其特征在于：所述的每组通气孔均包括三个孔，三个孔从内到外依次增大。