[发明专利]一种高精度微流量调节阀

说明书

本发明公开了一种高精度微流量调节阀，包括壳体，壳体为中空的筒状结构，壳体的一端与阀座连接，阀座的杆状部与壳体的壁面紧密贴合，阀座的杆状部中开有通孔，锁紧螺母与壳体通过螺纹连接并与阀座贴紧，圆筒状压电陶瓷堆栈放置装配在壳体内，压电陶瓷堆栈的一端与壳体的内壁贴合，压电陶瓷堆栈的另一端与平板弹簧阀杆的圆形板状结构的端面贴合，平板弹簧阀杆中间具有一杆状结构，一端具有圆形板状结构，阀座的杆状部与平板弹簧阀杆的杆状部贴合压紧实现密封，介质入口与壳体的一端连接。其有益效果在于：本发明中压电陶瓷控制变形量为0～20μm，微米级变形是的微流量调节成为可能，实现阀门0.5％控制精度。

技术领域

本发明属于流量调节阀门，具体涉及一种可控可调节高精度微小流量阀门。

背景技术

气体流量调节阀门众多，主要功能为控制及调节介质气体流量，为达到这一目的，流量调节阀一般设计为阀杆阀座开关型式，应用各类驱动技术实现阀门阀杆阀座不同开度开关从而实现气体流量调节。

对介质进行高精度、极小流量可控性是调节阀门发展方向。目前现有的流量调节阀一般采用手动或电磁线圈驱动调节，目标介质最小流量范围有限，一般处于SLM(标准升每分钟)级别，控制精度处于1％或更低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种高精度微流量调节阀，它能够有效地满足介质气体0～30SCCM，0.5％控制精度范围内的有效调节，为特殊用途(如微流量医疗供气控制，航空微流量气体驱动等)提供帮助。

本发明的技术方案如下：一种高精度微流量调节阀，包括壳体，壳体为中空的筒状结构，壳体的一端与阀座连接，阀座的杆状部与壳体的壁面紧密贴合，阀座的杆状部中开有通孔，锁紧螺母与壳体通过螺纹连接并与阀座贴紧，圆筒状压电陶瓷堆栈放置装配在壳体内，压电陶瓷堆栈的一端与壳体的内壁贴合，压电陶瓷堆栈的另一端与平板弹簧阀杆的圆形板状结构的端面贴合，平板弹簧阀杆中间具有一杆状结构，一端具有圆形板状结构，阀座的杆状部与平板弹簧阀杆的杆状部贴合压紧实现密封，介质入口与壳体的一端连接。

所述的阀座的通孔为拉法尔喷管形状，阀座的头部开有空腔，其空腔的直径大于杆状部通孔的直径。

所述的锁紧螺母的中间开有与阀座的头部的空腔直径相同的通孔。

所述的压电陶瓷堆栈通过压电陶瓷正极电缆与正极焊接件进行正极焊接，正极焊接件通过正极引出电缆将正极从壳体引出。

所述的压电陶瓷堆栈通过压电陶瓷负极电缆与负极焊接件焊接，负极焊接件通过负极引出电缆将负极从阀体引出。

所述的正极导线密封件与壳体实现过盈安装和连接，正极导线密封件与正极焊接件实现过盈安装和连接。

所述的负极导线密封件与壳体实现过盈安装和连接，负极导线密封件与负极焊接件实现过盈安装和连接。

所述的平板弹簧阀杆的圆形板状结构上开有通气孔。

所述的通气孔包括四组，四组通气孔相互之间均匀分布在平板弹簧阀杆的圆形板状结构上。

所述的每组通气孔均包括三个孔，三个孔从内到外依次增大。

本发明的有益效果在于：

1)实现微流量调节阀0～30SCCM可控可调节，本发明中压电陶瓷控制变形量为0～20μm，微米级变形是的微流量调节成为可能；

2)实现微流量调节阀0.5％控制精度调节，本发明中电压控制压电陶瓷变形量最小分别率达到0.1μm，实现阀门0.5％控制精度。

附图说明

图1为本发明所提供的一种高精度微流量调节阀外形图；

图2为本发明所提供的一种高精度微流量调节阀内部结构图；

图3为平板弹簧阀杆侧视图。