[发明专利]一种多通道节能型半导体温控装置及半导体生产设备

说明书

本发明提供一种多通道节能型半导体温控装置及半导体生产设备，涉及半导体技术领域，多通道节能型半导体温控装置包括制冷系统和至少两个循环系统，所述循环系统的入口与对应的所述第二换热器的第二出口连通，所述循环系统的出口与对应的所述第二换热器的第二入口连通。本发明提供的多通道节能型半导体温控装置，通过制冷系统可使循环介质的温度降低至‑45℃；升温过程利用压缩机排出的高温气体进入第二换热器进行热量交换，使得循环介质迅速升温，降低能源消耗；由于多个循环系统与一个制冷系统进行热量交换，减小了温控装置的体积，每个循环系统都可单独控制温度。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种多通道节能型半导体温控装置及半导体生产设备。

背景技术

半导体温控装置作为生产半导体的辅助设备，在晶圆的制作过程中起着至关重要的作用，随着产线数量的增加，附属设备的占地和能耗问题也是眼下的大难题，此外，负载在晶圆的制程工艺中要求保持恒定的温度输出，同时对于降温和加载条件下的控温也有很高要求。

发明内容

本发明提供一种多通道节能型半导体温控装置及半导体生产设备，用以解决现有的温控设备存在能耗高、占用空间大和温控精度低的问题。

本发明提供一种多通道节能型半导体温控装置，包括：

制冷系统，包括第一换热器、压缩机、至少两个第二换热器和至少两个控制阀组，所述控制阀组包括第一控制阀和第二控制阀，所述第一换热器的第一入口和第一出口分别与冷却水循环管路连通，所述第一换热器的第二出口与所述第一控制阀的第一接口连通；所述压缩机的出口分别与所述第一换热器的第二入口、所述第二控制阀的第一接口连通，所述压缩机的入口与所述第二换热器的第一出口连通；所述第二换热器的第一入口分别与所述第一控制阀的第二接口、所述第二控制阀的第二接口连通；

至少两个循环系统，所述循环系统的入口与对应的所述第二换热器的第二出口连通，所述循环系统的出口与对应的所述第二换热器的第二入口连通。

根据本发明提供的一种多通道节能型半导体温控装置，所述制冷系统还包括：

气液分离装置，所述气液分离装置的入口与所述第二换热器的第一出口连通，所述气液分离装置的出口与所述压缩机的入口连通。

根据本发明提供的一种多通道节能型半导体温控装置，所述气液分离装置为气液分离器。

根据本发明提供的一种多通道节能型半导体温控装置，所述制冷系统还包括：

储液器，所述储液器的入口与所述第一换热器的第二出口连通，所述储液器的出口与所述第一控制阀的第一接口连通。

根据本发明提供的一种多通道节能型半导体温控装置，所述控制阀组还包括：

第三控制阀，所述第三控制阀的第一接口与所述气液分离装置的入口连通，所述第三控制阀的第二接口与所述第二换热器的第一出口连通。

根据本发明提供的一种多通道节能型半导体温控装置，所述循环系统包括：缓冲箱、循环泵、加热装置和第一温度传感器，所述缓冲箱的入口与对应的所述第二换热器的第二出口连通，所述缓冲箱的出口与所述循环泵的入口连通，所述循环泵的出口与对应的负载的入口连通，所述负载的出口与对应的所述第二换热器的第二入口连通；所述加热装置用于加热进入所述缓冲箱内的介质，所述第一温度传感器用于检测进入所述负载中介质的温度。

根据本发明提供的一种多通道节能型半导体温控装置，所述加热装置为加热桶，所述加热桶设置于所述缓冲箱。

根据本发明提供的一种多通道节能型半导体温控装置，所述循环系统还包括：

第二温度传感器，所述第二温度传感器设置于所述缓冲箱的入口。

根据本发明提供的一种多通道节能型半导体温控装置，所述负载为刻蚀工艺设备。