[发明专利]一种可变角度的固晶方法、系统及固晶机

权利要求书

1.一种可变角度的固晶方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1：根据摆臂的摆动角度，控制晶圆环旋转指定角度；

步骤2：控制摆臂摆动至晶圆环位置，控制晶圆环进行横向和/或纵向的移动，使晶圆环上的单颗晶圆与摆臂上安装的固晶头对准，通过摆臂上安装的固晶头吸取晶圆环上的晶圆，完成单颗晶圆的取晶动作；

步骤3：控制摆臂摆动至基板位置，控制基板进行横向和/或纵向的移动，使基板上的固晶点与晶圆对准，通过固晶头将晶圆固定在基板上，完成单颗晶圆的固晶动作；

重复执行步骤2和步骤3，完成所有晶圆的取晶和所有晶圆的固晶；

摆臂在晶圆环与基板之间摆动，摆臂的摆动角度既不是90度也不是180度。

2.根据权利要求1所述的固晶方法，其特征在于，所述指定角度为ω，ω＝180–β，β为摆臂从取晶到固晶的角度。

3.根据权利要求2所述的固晶方法，其特征在于，通过摆臂电机的编码器计算β的角度，所述摆臂电机用于驱动所述摆臂进行摆动。

4.根据权利要求1至3任一项所述的固晶方法，其特征在于，所述摆臂至少为两个，所述摆臂从晶圆环上取晶圆完成取晶动作，通过至少两个摆臂将晶圆固定在一个基板上完成固晶动作。

5.一种可变角度的固晶系统，其特征在于，包括：

旋转角度控制模块：用于根据摆臂的摆动角度，控制晶圆环旋转指定角度；

取晶模块：用于控制摆臂摆动至晶圆环位置，控制晶圆环进行横向和/或纵向的移动，使晶圆环上的单颗晶圆与摆臂上安装的固晶头对准，通过摆臂上安装的固晶头吸取晶圆环上的晶圆，完成单颗晶圆的取晶动作；

固晶模块：用于控制摆臂摆动至基板位置，控制基板进行横向和/或纵向的移动，使基板上的固晶点与晶圆对准，通过固晶头将晶圆固定在基板上，完成单颗晶圆的固晶动作；

重复运行取晶模块和固晶模块，完成所有晶圆的取晶和所有晶圆的固晶；

摆臂在晶圆环与基板之间摆动，摆臂的摆动角度既不是90度也不是180度。

6.根据权利要求5所述的固晶系统，其特征在于，所述指定角度为ω，ω＝180–β，β为摆臂从取晶到固晶的角度。

7.根据权利要求6所述的固晶系统，其特征在于，通过摆臂电机的编码器计算β的角度，所述摆臂电机用于驱动所述摆臂进行摆动。

8.根据权利要求5至7任一项所述的固晶系统，其特征在于，所述摆臂至少为两个，所述摆臂从晶圆环上取晶圆完成取晶动作，通过至少两个摆臂将晶圆固定在一个基板上完成固晶动作。

9.一种固晶机，包括摆臂、晶圆环、固晶台、摆臂电机、晶圆环驱动机构、固晶台驱动机构，所述固晶台用于放置基板，在进行取晶时，通过摆臂电机驱动摆臂摆动至晶圆环位置，通过晶圆环驱动机构驱动晶圆环进行横向和/或纵向的移动，使晶圆环上的单颗晶圆与摆臂上安装的固晶头对准，通过摆臂上安装的固晶头吸取晶圆环上的晶圆，完成单颗晶圆的取晶动作；在进行固晶时，通过摆臂电机驱动摆臂摆动至基板位置，通过摆臂电机驱动固晶台上进行横向和/或纵向的移动，使固晶台上的基板上的固晶点与晶圆对准，通过固晶头将晶圆固定在基板上，完成单颗晶圆的固晶动作；其特征在于：所述摆臂在晶圆环与基板之间摆动，摆臂的摆动角度既不是90度也不是180度，在进行取晶动作前，通过晶圆环驱动机构驱动晶圆环旋转指定角度，所述指定角度为ω，ω＝180–β，β为摆臂从取晶到固晶的角度。

10.根据权利要求9所述的固晶机，其特征在于，所述摆臂至少为两个，所述摆臂从晶圆环上取晶圆完成取晶动作，通过至少两个摆臂将晶圆固定在所述固晶台的基板上完成固晶动作。