[发明专利]一种可变角度的固晶方法、系统及固晶机

说明书

本发明提供了一种可变角度的固晶方法、系统及固晶机，该固晶方法包括：步骤1：根据摆臂的摆动角度，控制晶圆环旋转指定角度；步骤2：控制摆臂摆动至晶圆环位置，控制晶圆环进行横向和/或纵向的移动，使晶圆环上的单颗晶圆与摆臂上安装的固晶头对准，通过摆臂上安装的固晶头吸取晶圆环上的晶圆；步骤3：控制摆臂摆动至基板位置，控制基板进行横向和/或纵向的移动，使基板上的固晶点与晶圆对准，通过固晶头将晶圆固定在基板上。本发明的有益效果是：本发明在不增加摆臂长度的情况下，使摆臂不是摆动180度，两个摆臂可根据设定的角度进行摆动，这样两个摆臂就可以不同时对基板一个点进行固晶，从而能够对宽度更大的基板进行快速固晶。

技术领域

本发明涉及固晶技术领域，尤其涉及一种可变角度的固晶方法、系统及固晶机。

背景技术

在传统的摆臂型固晶设备上，摆臂一般都是走90°或180°，原因是晶圆盘的晶圆是垂直平行摆放的，取晶、固晶会方便很多。如图1所示，摆臂每次走90°或者180°，晶圆位置基本都是平行垂直，只需要做取晶、固晶动作，在取晶时无需旋转晶圆，固晶就方便很多。

但是，这种方法也有局限，那就是多摆臂情况下无法固更大的基板。要想固更大的基板，只能增加摆臂长度，但是增加摆臂长度不仅增加了成本，而且，增加摆臂长度后，需要增加电机功率，而且速度不一定能提升，这给系统性设计带来更大挑战。

发明内容

本发明提供了一种可变角度的固晶方法，包括如下步骤：

步骤1：根据摆臂的摆动角度，控制晶圆环旋转指定角度；

步骤2：控制摆臂摆动至晶圆环位置，控制晶圆环进行横向和/或纵向的移动，使晶圆环上的单颗晶圆与摆臂上安装的固晶头对准，通过摆臂上安装的固晶头吸取晶圆环上的晶圆，完成单颗晶圆的取晶动作；

步骤3：控制摆臂摆动至基板位置，控制基板进行横向和/或纵向的移动，使基板上的固晶点与晶圆对准，通过固晶头将晶圆固定在基板上，完成单颗晶圆的固晶动作；

重复执行步骤2和步骤3，完成所有晶圆的取晶和所有晶圆的固晶；

摆臂在晶圆环与基板之间摆动，摆臂的摆动角度既不是90度也不是180度。

作为本发明的进一步改进，所述指定角度为ω，ω＝180–β，β为摆臂从取晶到固晶的角度。

作为本发明的进一步改进，通过摆臂电机的编码器计算β的角度，所述摆臂电机用于驱动所述摆臂进行摆动。

作为本发明的进一步改进，所述摆臂至少为两个，所述摆臂从晶圆环上取晶圆完成取晶动作，通过至少两个摆臂将晶圆固定在一个基板上完成固晶动作。

本发明还提供了一种可变角度的固晶系统，包括：

旋转角度控制模块：用于根据摆臂的摆动角度，控制晶圆环旋转指定角度；

取晶模块：用于控制摆臂摆动至晶圆环位置，控制晶圆环进行横向和/或纵向的移动，使晶圆环上的单颗晶圆与摆臂上安装的固晶头对准，通过摆臂上安装的固晶头吸取晶圆环上的晶圆，完成单颗晶圆的取晶动作；

固晶模块：用于控制摆臂摆动至基板位置，控制基板进行横向和/或纵向的移动，使基板上的固晶点与晶圆对准，通过固晶头将晶圆固定在基板上，完成单颗晶圆的固晶动作；

重复运行取晶模块和固晶模块，完成所有晶圆的取晶和所有晶圆的固晶；

摆臂在晶圆环与基板之间摆动，摆臂的摆动角度既不是90度也不是180度。

作为本发明的进一步改进，所述指定角度为ω，ω＝180–β，β为摆臂从取晶到固晶的角度。

作为本发明的进一步改进，通过摆臂电机的编码器计算β的角度，所述摆臂电机用于驱动所述摆臂进行摆动。