[发明专利]一种刻槽设备和刻槽方法在审
申请号: | 202110680356.4 | 申请日: | 2021-06-18 |
公开(公告)号: | CN115489038A | 公开(公告)日: | 2022-12-20 |
发明(设计)人: | 毛剑波;李杰;党朋飞 | 申请(专利权)人: | 隆基绿能科技股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/02;B28D7/04;H01L21/304 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 赵娟 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 设备 方法 | ||
1.一种刻槽设备,其特征在于,所述刻槽设备包括:用于容纳待加工件的加工舱、用于在所述待加工件上刻槽的刀具、用于夹持所述待加工件的夹持机构以及用于驱动所述夹持机构转动的驱动机构,其中,
所述夹持机构、所述刀具均设于所述加工舱内,且所述夹持机构可相对所述加工舱转动;
所述刻槽设备还包括:用于控制所述加工舱内的温度处于预设温度范围的温度控制装置,所述温度控制装置设于所述加工舱内。
2.根据权利要求1所述的刻槽设备,其特征在于,所述预设温度范围为零下10摄氏度至零下4摄氏度。
3.根据权利要求1所述的刻槽设备,其特征在于,所述温度控制装置包括:用于检测所述加工舱内温度的温度传感器、用于调节所述加工舱内温度的制冷机构以及控制所述制冷机构工作的控制器;
所述温度传感器、所述制冷机构和所述控制器均设于所述加工舱内,且所述温度传感器、所述制冷机构分别与所述控制器电连接。
4.根据权利要求1所述的刻槽设备,其特征在于,所述制冷机构包括:热交换器和空调调节器中的至少一种。
5.根据权利要求1所述的刻槽设备,其特征在于,所述刻槽设备还包括:用于冷却所述待加工件的冷却装置,所述冷却装置设于所述加工舱内,且所述冷却装置与所述刀具对应设置。
6.根据权利要求1所述的刻槽设备,其特征在于,所述冷却装置为冷却液喷淋机构。
7.根据权利要求1所述的刻槽设备,其特征在于,所述刻槽设备还包括:用于对所述待加工件保温的保温罩,所述保温罩设于所述加工舱内。
8.根据权利要求7所述的刻槽设备,其特征在于,所述保温罩设有开口,所述开口用于通过所述刀具,以使所述刀具与所述待加工件的至少部分抵接。
9.根据权利要求7所述的刻槽设备,其特征在于,所述保温罩包括:第一罩体和第二罩体,所述第一罩体和所述第二罩体转动连接。
10.根据权利要求7所述的刻槽设备,其特征在于,所述保温罩包括:内壁和外壁,所述外壁和所述内壁之间形成中空腔体,所述中空腔体内设有用于冷却所述待加工件的冷媒介质。
11.一种刻槽方法,其特征在于,所述方法包括:
采用相对加工舱转动的夹持机构夹持待加工件;
采用温度控制装置控制所述加工舱内的温度处于预设温度范围;
采用驱动机构驱动所述夹持机构上的所述待加工件相对所述加工舱转动,以使刀具在所述待加工件上刻槽。
12.根据权利要求11所述的刻槽方法,其特征在于,所述采用驱动机构驱动所述夹持机构上的所述待加工件相对所述加工舱转动,以使刀具在所述待加工件上刻槽,包括:
控制所述刀具进刀,所述刀具的进刀深度为0.16-0.28mm;
采用所述驱动机构驱动所述夹持机构上的所述待加工件相对所述加工舱转动,刀具在所述待加工件上刻槽;
控制所述刀具退刀。
13.根据权利要求12所述的刻槽方法,其特征在于,所述采用所述驱动机构驱动所述夹持机构上的所述待加工件相对所述加工舱转动,刀具在所述待加工件上刻槽的步骤,还包括:
采用冷却装置向所述待加工件的刻槽位置喷射冷却液。
14.根据权利要求11所述的刻槽方法,其特征在于,所述采用温度控制装置控制所述加工舱内的温度处于预设温度范围,包括:
采用温度传感器检测所述加工舱内的温度;
在所述温度未处于预设温度范围的情况下,控制制冷机构将所述加工舱内的温度调节至预设温度范围。
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