[发明专利]太阳能电池返工工艺有效
申请号: | 202110684410.2 | 申请日: | 2021-06-21 |
公开(公告)号: | CN113421946B | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
发明(设计)人: | 缪强;蒋红彬;常宇峰;于亚春;刘小红;曲凯;杨恒春;庞国峰 | 申请(专利权)人: | 苏州潞能能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215600 江苏省苏州市张家港市张*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能电池 返工 工艺 | ||
1.一种太阳能电池返工工艺,其特征在于,包括如下步骤:
对镀膜后返工片进行酸洗并干燥;
将酸洗后的返工片与未镀膜返工片一起在制绒工序进行二次清洗;
对二次清洗后的返工片进行二次制绒;
将二次制绒后的返工片按照常规工艺进行生产;
所述二次清洗包括:
(1)前清洗:使用含氢氧化钾和双氧水的混合溶液清洗所述返工片;
(2)水洗:使用纯水清洗所述返工片;
(3)后清洗:使用含氢氧化钾和双氧水的混合溶液清洗所述返工片;
(4)水洗:使用纯水清洗所述返工片;
(5)酸洗:使用含氢氟酸和盐酸的混合溶液清洗所述返工片;
(6)水洗:使用纯水清洗所述返工片;
(7)慢提拉:对所述返工片进行慢提拉脱水;
(8)烘干:将所述返工片烘干;
所述二次制绒包括:
(1)初抛:使用氢氧化钾溶液清洗所述返工片;
(2)前清洗:使用含氢氧化钾和双氧水的混合溶液清洗所述返工片;
(3)水洗:使用纯水清洗所述返工片;
(4)制绒:使用氢氧化钾和制绒添加剂的混合溶液对所述返工片进行腐蚀处理,形成金字塔绒面;
(5)水洗:使用纯水清洗所述返工片;
(6)后清洗:使用含氢氧化钾和双氧水的混合溶液清洗所述返工片;
(7)水洗:使用纯水清洗所述返工片;
(8)酸洗:使用含氢氟酸和盐酸的混合溶液清洗所述返工片;
(9)水洗:使用纯水清洗所述返工片;
(10)慢提拉:对所述返工片进行慢提拉脱水;
(11)烘干:将所述返工片烘干。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池返工工艺,其特征在于,所述二次清洗和所述二次制绒的所述酸洗步骤中采用的所述混合溶液包括170-190L水、45-50L氢氟酸和50-60L盐酸。
3.根据权利要求1所述的太阳能电池返工工艺,其特征在于,所述二次制绒的所述初抛步骤中采用的所述氢氧化钾溶液包括320-340L水和3.5-4.5L氢氧化钾。
4.根据权利要求1所述的太阳能电池返工工艺,其特征在于,所述二次制绒的所述制绒步骤中采用的所述混合溶液包括320-330L水、6-7L氢氧化钾和2.1-2.5L制绒添加剂。
5.根据权利要求1所述的太阳能电池返工工艺,其特征在于,所述常规工艺包括:扩散、SE正激光、刻蚀、氧化、背钝化、正背镀膜、背激光、丝网印刷、烧结以及测试分选。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的