[发明专利]太阳能电池返工工艺有效
申请号: | 202110684410.2 | 申请日: | 2021-06-21 |
公开(公告)号: | CN113421946B | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
发明(设计)人: | 缪强;蒋红彬;常宇峰;于亚春;刘小红;曲凯;杨恒春;庞国峰 | 申请(专利权)人: | 苏州潞能能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215600 江苏省苏州市张家港市张*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能电池 返工 工艺 | ||
本发明公开了一种太阳能电池返工工艺,包括如下步骤:对镀膜后返工片进行酸洗并干燥;将酸洗后的返工片与未镀膜返工片一起在制绒工序进行二次清洗;对二次清洗后的返工片进行二次制绒;将二次制绒后的返工片按照常规工艺进行生产。本发明增加了二次清洗工艺,该工艺利用产线现有制绒工序设备进行生产,不增加设备成本投入,工艺流程与原产线制绒工艺流程变更不多,可以利用产线原有药液进行生产,对产线辅料成本增加不多。而经过二次清洗后的返工片,可以最大化的去除硅片上的氧化层、划伤、脏污等残留,消除二次制绒时对硅片表面绒面的影响,提高返工电池片的转换效率、良率。
技术领域
本发明涉及太阳能电池技术领域,尤其涉及一种太阳能电池返工工艺。
背景技术
目前,单晶硅太阳能电池生产工艺已经日趋成熟,可以实现标准化生产,其主要工艺步骤如下:制绒→扩散→SE激光→刻蚀→后氧化→背面氧化铝→背面氮化硅→正面氮化硅→背面激光开槽→丝网印刷→烧结→测试分选。其正常生产过程中会产生一些不良片,主要包括一些制绒绒面不良、扩散方阻异常、激光图形偏移、刻蚀药液污染、镀膜颜色异常等。该类不良片做成成品电池片,一般会是低转换效率电池片,且外观检测、EL测试为不合格片,对产线整体良率、效率等造成重大影响,必须返工处理后再生产,使其成为合格电池片。针对返工片的工艺处理方法,常规工艺处理流程如下:将镀膜后返工片进行酸洗去膜、甩干集中放置后与未镀膜返工片一起进行二次制绒再生产。
采用上述工艺处理返工片存在以下几个缺陷:(1)电池片容易有划伤、脏污等残留;(2)电池片良率较低,影响产线整体良率;(3)电池片平均转换效率相比正常电池片低,影响产线整体效率。
发明内容
本发明的目的在于提供一种太阳能电池返工工艺,能够有效提高返工片二次生产的转换效率、良率,最终达到提升产线电池片整体效率、良率。
为解决上述技术问题,本发明采用的一个技术方案是提供一种太阳能电池返工工艺,包括如下步骤:
对镀膜后返工片进行酸洗并干燥;
将酸洗后的返工片与未镀膜返工片一起在制绒工序进行二次清洗;
对二次清洗后的返工片进行二次制绒;
将二次制绒后的返工片按照常规工艺进行生产。
在本发明的一个实施例中,所述二次清洗包括:
(9)前清洗:使用含氢氧化钾和双氧水的混合溶液清洗所述返工片;
(10)水洗:使用纯水清洗所述返工片;
(11)后清洗:使用含氢氧化钾和双氧水的混合溶液清洗所述返工片;
(12)水洗:使用纯水清洗所述返工片;
(13)酸洗:使用含氢氟酸和盐酸的混合溶液清洗所述返工片;
(14)水洗:使用纯水清洗所述返工片;
(15)慢提拉:对所述返工片进行慢提拉脱水;
(16)烘干:将所述返工片烘干。
在本发明的一个实施例中,所述二次制绒包括:
(1)初抛:使用氢氧化钾溶液清洗所述返工片;
(2)前清洗:使用含氢氧化钾和双氧水的混合溶液清洗所述返工片;
(3)水洗:使用纯水清洗所述返工片;
(4)制绒:使用氢氧化钾和制绒添加剂的混合溶液对所述返工片进行腐蚀处理,形成金字塔绒面;
(5)水洗:使用纯水清洗所述返工片;
(6)后清洗:使用含氢氧化钾和双氧水的混合溶液清洗所述返工片;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的