[发明专利]一种掩膜版有效
| 申请号： | 202110684536.X | 申请日： | 2021-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN113388809B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 昝昱廷;何信儒;谢毅;李振华 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人： | 吴雪 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 | ||
【权利要求书】：
1.一种掩膜版，其特征在于，包括板体，所述板体包括呈相对设置的两侧，其中一侧用于与玻璃基板配合，另一侧用于与蒸镀材料配合；
所述板体朝向所述蒸镀材料的一侧设置有支撑件，所述支撑件背离所述板体的表面上设置有凸起部，所述凸起部为导电材质，所述凸起部用于与所述蒸镀材料接触，且所述凸起部沿其自身厚度方向贯穿所述蒸镀材料。
2.如权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述支撑件通过半刻工艺形成所述凸起部。
3.如权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述凸起部设置有多个。
4.如权利要求3所述的掩膜版，其特征在于，靠近所述支撑件边缘的所述凸起部与所述支撑件的边缘之间存在间距。
5.如权利要求4所述的掩膜版，其特征在于，所述间距大于所述支撑件宽度的百分之五倍。
6.如权利要求3所述的掩膜版，其特征在于，各所述凸起部均匀间隔布置。
7.如权利要求6所述的掩膜版，其特征在于，沿同一方向布置的相邻两所述凸起部在垂直于其布置方向上对称设置。
8.如权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述凸起部垂直所述板体厚度方向的截面可以为三角形、菱形、漏斗形、芒星形或圆形。
9.如权利要求8所述的掩膜版，其特征在于，所述截面存在至少一个锐角。
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