[发明专利]一种掩膜版有效
申请号: | 202110684536.X | 申请日: | 2021-06-21 |
公开(公告)号: | CN113388809B | 公开(公告)日: | 2022-07-29 |
发明(设计)人: | 昝昱廷;何信儒;谢毅;李振华 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
代理公司: | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人: | 吴雪 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 掩膜版 | ||
本发明涉及显示技术领域,具体涉及一种掩膜版。该掩膜版包括板体,板体上设置有凸起部,凸起部为导电材质,凸起部用于与蒸镀材料接触,且凸起部贯穿蒸镀材料;综上所述,本申请采用凸起部贯穿蒸镀材料的设置形式,使得掩膜版在蒸镀过程中通过凸起部为蒸镀材料上的电荷提供导出的路径,进而增加掩膜版的静电导出能力,从而减小与掩膜版接触的玻璃基板上的静电量,可以有效的防止因玻璃基板表面静电过大导致玻璃基板破碎或使得玻璃基板电路击穿造成短路等情况,与此同时,还可以有效避免静电逐渐增加导致由玻璃基板形成的显示面板上出现暗点,或者玻璃基板由于其本身材质较薄,玻璃基板上的静电过大导致玻璃基板破片的情况。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,具体涉及一种掩膜版。
背景技术
有机发光显示器(Organic Light Emitting Display,简称OLED)具有自发光、反应时间快、视角广、成本低、制作工艺简单、分辨率佳及高亮度等多项优点,被认为是下一代的平面显示器新兴的应用技术。在OLED显示基板制造过程中,真空蒸镀工艺是一项非常重要和关键的技术,该工艺通常利用掩膜版作模具,有机材料高温挥发后以材料分子状态透过掩膜版上的镂空的掩膜图形沉积到衬底基板上形成所需图案,作为有机发光层,用于实现发光。
但是,现有技术在蒸镀过程中与掩膜版接触的玻璃基板静电逐渐增加,存在玻璃基板破片或玻璃基板电路被静电击穿的可能。
发明内容
本申请的目的在于提供一种掩膜版。
(一)技术方案
为实现上述目的,本发明提供了一种掩膜版,包括板体,所述板体上设置有凸起部,所述凸起部用于与蒸镀材料接触,且所述凸起部贯穿所述蒸镀材料。
作为本技术方案的可选方案之一,其中所述板体上设置有支撑件,所述凸起部设置于所述支撑件背离所述板体的表面上。
作为本技术方案的可选方案之一,其中所述支撑件通过半刻工艺形成所述凸起部。
作为本技术方案的可选方案之一,其中所述凸起部设置有多个。
作为本技术方案的可选方案之一,其中靠近所述支撑件边缘的所述凸起部与所述支撑件的边缘之间存在间距。
作为本技术方案的可选方案之一,其中所述间距大于所述支撑件宽度的百分之五倍。
作为本技术方案的可选方案之一,其中各所述凸起部均匀间隔布置。
作为本技术方案的可选方案之一,其中沿同一方向布置的相邻两所述凸起部在垂直于其布置方向上对称设置。
作为本技术方案的可选方案之一,其中所述凸起部垂直所述板体厚度方向的截面可以为三角形、菱形、漏斗形、芒星形、圆形或多边形。
作为本技术方案的可选方案之一,其中所述截面存在至少一个锐角。
(二)有益效果
本发明与现有技术相比,具有以下有益效果:
本发明提供了一种掩膜版,该掩膜版包括板体,所述板体上设置有凸起部,所述凸起部用于与蒸镀材料接触,且所述凸起部贯穿所述蒸镀材料;综上所述,本申请采用凸起部贯穿蒸镀材料的设置形式,使得掩膜版在蒸镀过程中通过凸起部为蒸镀材料上的电荷提供导出的路径,进而增加掩膜版的静电导出能力,从而减小与掩膜版接触的玻璃基板上的静电量,可以有效的防止因玻璃基板表面静电过大导致玻璃基板破碎或使得玻璃基板电路击穿造成短路等情况,与此同时,还可以有效避免静电逐渐增加导致由玻璃基板形成的显示面板上出现暗点,或者玻璃基板由于其本身材质较薄,玻璃基板上的静电过大导致玻璃基板破片的情况。
附图说明
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分,示出了符合本发明的实施例,并与说明书一起用于解释本发明的原理。
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