[发明专利]不含六价铬的蚀刻锰回收系统

权利要求书

1.一种用于回收锰蚀刻剂溶液的方法，所述方法包括：

在用蚀刻剂溶液蚀刻非导电基板之后用中和剂中和所述基板，其中所述中和剂包含含有酸和氧化剂的溶液；

从所述中和剂或含锰的冲洗物中将处理溶液的至少一部分去除至蒸发器组件；

蒸发所述蒸发器组件中的所述处理溶液以去除水以形成浓缩的处理溶液；以及

将所述浓缩的处理溶液添加到所述蚀刻剂溶液或酸冲洗液中。

2.根据权利要求1所述的方法，其中将所述浓缩的处理溶液浓缩至大于或等于约2g/LMn。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述蒸发器组件还包括常压蒸发器或真空蒸发器。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述蒸发器组件还包括蒸发处理槽。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述蒸发处理槽在温度控制下并且在受控空气处理的情况下操作。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述温度为约155°F至约180°F。

7.根据权利要求5所述的方法，其中所述受控空气处理处于约1880lb/hr至约2090lb/hr的流速。

8.根据权利要求6所述的方法，其中所述受控空气处理处于约1880lb/hr至约2090lb/hr的流速。

9.根据权利要求1所述的方法，其中所述处理溶液包含锰离子源。

10.一种用于回收锰蚀刻剂溶液的方法，所述方法包括：

在用蚀刻剂溶液蚀刻非导电基板之后，任选地在基于酸的冲洗物中冲洗并且然后用中和剂中和所述基板，其中所述中和剂包含酸和氧化剂中的至少一种；

将处理溶液的至少一部分浓缩至与所述蚀刻剂溶液类似的浓度；以及

将所述浓缩的处理溶液进料到所述蚀刻剂溶液或酸冲洗液中。

11.根据权利要求10所述的方法，其中将所述浓缩的处理溶液浓缩至大于或等于约2g/L Mn。

12.根据权利要求10所述的方法，其中所述处理溶液包含含有所述一种或多种酸和锰离子的溶液。

13.根据权利要求10所述的方法，其中将所述处理溶液的至少一部分转移到用于浓缩所述处理溶液的蒸发处理槽中。

14.根据权利要求13所述的方法，其中所述蒸发处理槽为蒸发器组件的一部分，所述蒸发器组件还包括常压蒸发器或真空蒸发器。

15.根据权利要求13所述的方法，其中所述蒸发处理槽在温度控制下并且在受控空气处理的情况下操作。

16.根据权利要求10所述的方法，其中所述处理溶液包含锰离子源。

17.根据权利要求16所述的方法，其中温度为约155°F至约180°F。

18.根据权利要求16所述的方法，其中所述受控空气处理处于约1880lb/hr至约2090lb/hr的流速。

19.根据权利要求17所述的方法，其中所述受控空气处理处于约1880lb/hr至约2090lb/hr的流速。

20.一种用于回收锰蚀刻剂溶液的蒸发系统，所述蒸发系统包括：

蒸发器组件，其中所述蒸发器组件配置成从处理溶液中蒸发水以形成浓缩的处理溶液，其中所述蒸发器组件连接到配置成用于在无电金属化处理中使用的处理槽，其中所述处理槽容纳配置成待转移到所述蒸发槽中的处理溶液。