[发明专利]PECVD双舟系统及其碎片检测方法

权利要求书

1.一种PECVD双舟系统的碎片检测方法，其特征在于，所述PECVD双舟系统包括反应腔、第一石墨舟和第二石墨舟，所述反应腔两端分别设有进气口和出气口，所述第一石墨舟和第二石墨舟设于所述反应腔内且沿所述进气口至所述出气口的方向排列；所述碎片检测方法包括：

对所述反应腔执行抽真空处理；

使气体注入所述反应腔内，并使所述反应腔内的压力保持预定压力；

在所述第一石墨舟上施加预定电压；

获得所述第二石墨舟上的电信号，并判断所述电信号是否大于第一预定值；所述电信号为电压或功率；

若是，则确定所述第一石墨舟和第二石墨舟之间存在碎片。

2.根据权利要求1所述的PECVD双舟系统的碎片检测方法，其特征在于，所述第一石墨舟连接有第一测试电极座和第二测试电极座，所述第二石墨舟连接有第三测试电极座和第四测试电极座，且所述第二测试电极座和第三测试电极座相邻；

所述获得所述第二石墨舟上的电信号，并判断所述电信号是否大于第一预定值的步骤包括：

获得所述第二石墨舟的第三测试电极座和第四测试电极座之间的实际电压，并判断所述实际电压是否大于第二预定值；所述第二预定值大于或等于0。

3.根据权利要求2所述的PECVD双舟系统的碎片检测方法，其特征在于，所述PECVD双舟系统还包括第一射频电源，所述第三测试电极座和第四测试电极座分别与所述第一射频电源的正负两极电连接；

所述获得所述第二石墨舟的第三测试电极座和第四测试电极座之间的实际电压的步骤包括：

获得所述第一射频电源正负两极之间的实际电压。

4.根据权利要求1所述的PECVD双舟系统的碎片检测方法，其特征在于，所述第一石墨舟连接有第一测试电极座和第二测试电极座，所述第二石墨舟连接有第三测试电极座和第四测试电极座，且所述第二测试电极座和第三测试电极座相邻；所述第三测试电极座和第四测试电极座分别与第一射频电源的正负两极电连接；

所述获得所述第二石墨舟上的电信号，并判断所述电信号是否大于第一预定值的步骤包括：

获得所述第一射频电源的实际功率，并判断所述实际功率是否大于第三预定值；所述第三预定值大于或等于0。

5.根据权利要求2-4任一项所述的PECVD双舟系统的碎片检测方法，其特征在于，

所述若是，则确定所述第一石墨舟和第二石墨舟之间存在碎片的步骤包括：

若是，则确定所述第二测试电极座和第三测试电极座之间存在碎片。

6.根据权利要求1所述的PECVD双舟系统的碎片检测方法，其特征在于，在所述确定所述第一石墨舟和第二石墨舟之间存在碎片的步骤后，还包括：

判断所述电信号是否大于第四预定值；其中，所述第四预定值大于所述第一预定值且所述第四预定值大于0；

若是，则控制所述PECVD双舟系统发出所述碎片需被清理的警示。

7.根据权利要求1所述的PECVD双舟系统的碎片检测方法，其特征在于，所述第一石墨舟连接有第一测试电极座和第二测试电极座，所述第一测试电极座和第二测试电极座分别与第二射频电源的正负两极电连接；

所述在所述第一石墨舟上施加预定电压的步骤包括：

控制所述第二射频电源通过所述第一测试电极座和第二测试电极座对所述第一石墨舟施加所述预定电压。

8.根据权利要求7所述的PECVD双舟系统的碎片检测方法，其特征在于，所述控制所述第二射频电源通过所述第一测试电极座和第二测试电极座对所述第一石墨舟施加所述预定电压的步骤包括：

开启所述第二射频电源；

判断所述第二射频电源的实际功率与预定功率的差值是否超过阈值；

若否，则进入判断所述第二石墨舟有无预定电信号的步骤。