[发明专利]InAs纳米颗粒的制备方法与光电探测器的制备方法在审
申请号: | 202110689430.9 | 申请日: | 2021-06-22 |
公开(公告)号: | CN113562763A | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 杨晴;马林;马曼曼 | 申请(专利权)人: | 中国科学技术大学 |
主分类号: | C01G28/00 | 分类号: | C01G28/00;H01L31/18;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李伟 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | inas 纳米 颗粒 制备 方法 光电 探测器 | ||
1.一种InAs纳米颗粒的制备方法,包括以下步骤:
将三辛基氧膦和十八烯混合,加热,得到混合液;
将乙酰丙酮铟、氯化铟和醋酸铟中的一种、三苯基胂和苄醚混合后与所述混合液混合,得到混合物;
将所述混合物加热后与油胺混合,反应,得到InAs纳米颗粒。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述三辛基氧膦和十八烯的比例为(10~40)mg:1mL。
3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,所述混合物中的铟源为乙酰丙酮铟时,所述三辛基氧膦、所述乙酰丙酮铟和所述三苯基胂的质量比为100:(20~25):(40~48)。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,得到混合液的过程中,所述加热的温度为100~200℃,时间为30~60min。
5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,得到InAs纳米颗粒的步骤中,所述加热的温度为300~330℃。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,得到InAs纳米颗粒的步骤中,所述反应的时间为1~5h。
7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述与混合液混合的温度为150~180℃。
8.一种光电探测器的制备方法,包括以下步骤:
将InAs纳米颗粒涂布于基底表面,得到InAs纳米颗粒层;
在所述InAs纳米颗粒层表面铺设导电透明层;
分别以基底和导电透明层为电极,得到光电探测器;
所述InAs纳米颗粒为权利要求1~7任一项所述的制备方法所制备的InAs纳米颗粒。
9.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于,所述基底为p型硅片、n型硅片或FTO,所述导电透明层为石墨烯层。
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