[发明专利]反射镜组件和光模块

权利要求书

1.一种反射镜组件的制造方法，其特征在于，

所述反射镜组件包括：

反射镜器件，其包含基体和可动反射镜，所述基体具有第1表面和与所述第1表面相反侧的第2表面，所述可动反射镜以沿着与所述第1表面交叉的第1方向可移动的方式被支承在所述基体；

第1部件，其具有第1凹部，包围所述第1凹部的开口的平坦的第1区域与所述基体的所述第1表面接合；和

第2部件，其具有第2凹部，包围所述第2凹部的开口的平坦的第2区域与所述基体的所述第2表面接合，

在由所述基体、所述第1部件以及所述第2部件形成的气密空间，至少配置有所述可动反射镜，

所述反射镜组件的制造方法包括：

第1工序，实施包含分别成为所述第1部件的多个部分的第1晶片、包含分别成为所述第2部件的多个部分的第2晶片、和包含分别成为所述反射镜器件的多个部分的第3晶片的准备，一个所述第1部件和一个所述反射镜器件彼此对应的所述第1晶片和所述第3晶片的接合，以及一个所述第2部件和一个所述反射镜器件彼此对应的所述第2晶片和所述第3晶片的接合，

第2工序，在所述第1工序后，将包含分别成为所述反射镜组件的多个部分且互相接合的所述第1晶片、所述第2晶片以及所述第3晶片切断成多个所述反射镜组件，

在所述第1工序中，

通过彼此对应的所述第1区域和所述第1表面接合，所述第1晶片和所述第3晶片接合，

通过彼此对应的所述第2区域和所述第2表面接合，所述第2晶片和所述第3晶片接合。

2.如权利要求1所述的反射镜组件的制造方法，其特征在于：

在所述第1工序中，所述第1晶片和所述第3晶片通过直接键合而互相接合，所述第2晶片和所述第3晶片通过直接键合而互相接合。

3.如权利要求1所述的反射镜组件的制造方法，其特征在于：

所述第2部件包括：

以从所述第1方向看时至少包围所述可动反射镜的方式形成的框体；以及

以封闭所述框体的与所述反射镜器件相反侧的开口的方式形成的光透过部件，

在所述第1工序中，通过实施包含分别成为所述框体的多个部分的第4晶片、和包含分别成为所述光透过部件的多个部分的第5晶片的准备，以及一个所述框体和一个所述光透过部件彼此对应的所述第4晶片和所述第5晶片的接合，来准备所述第2晶片。

4.如权利要求2所述的反射镜组件的制造方法，其特征在于：

所述第2部件包括：

以从所述第1方向看时至少包围所述可动反射镜的方式形成的框体；以及

以封闭所述框体的与所述反射镜器件相反侧的开口的方式形成的光透过部件，

在所述第1工序中，通过实施包含分别成为所述框体的多个部分的第4晶片、和包含分别成为所述光透过部件的多个部分的第5晶片的准备，以及一个所述框体和一个所述光透过部件彼此对应的所述第4晶片和所述第5晶片的接合，来准备所述第2晶片。

5.如权利要求3所述的反射镜组件的制造方法，其特征在于：

在所述第1工序中，所述第4晶片和所述第5晶片通过直接键合而互相接合。

6.如权利要求4所述的反射镜组件的制造方法，其特征在于：

在所述第1工序中，所述第4晶片和所述第5晶片通过直接键合而互相接合。

7.如权利要求1～6中任一项所述的反射镜组件的制造方法，其特征在于：

所述反射镜器件还包含：固定梳齿电极，其具有设置在所述基体侧的多个固定梳齿；以及可动梳齿电极，其具有以分别位于所述多个固定梳齿各自间的方式设置在所述可动反射镜侧的多个可动梳齿，

所述反射镜器件中的至少所述可动反射镜和所述可动梳齿电极在所述第1方向上面对所述第1凹部和所述第2凹部的各个。