[发明专利]反射镜组件和光模块

说明书

反射镜组件(2)包括：含有基体(21)和可动反射镜(22)的反射镜器件(20)；光学功能部件(13)；和相对于光学功能部件(13)配置在与反射镜器件(20)相反侧的固定反射镜(16)。在反射镜器件(20)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第1部分的光通过部(24)。在光学功能部件(13)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第2部分的光透射部(14)。基体(21)的第2表面(21b)与光学功能部件(13)的第3表面(13a)彼此接合在一起。

本申请是申请日为2018年7月6日、申请号为201880040988.0、发明名称为反射镜组件和光模块的专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及反射镜组件和光模块。

背景技术

作为由SOI(Silicon On Insulator：绝缘体上硅结构)基片构成的MEMS(MicroElectro Mechanical Systems：微机电系统)器件，已知有一种反射镜器件，其包括基体和以沿着基体的厚度方向可移动的方式被支承于基体的可动反射镜(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利申请公开2008/0284078号说明书。

发明内容

发明所要解决的技术问题

上述那样的反射镜器件由于能够提供高精度的FTIR(傅立叶变换红外光谱仪)而受到瞩目。

本发明的目的在于提供一种适合于紧凑地构成高精度的干涉光学系统的反射镜组件以及具备这样的反射镜组件的光模块。

用于解决问题的技术手段

本发明的一个方面的反射镜组件包括：反射镜器件，其包含基体和可动反射镜，基体具有第1表面和与第1表面相反侧的第2表面，可动反射镜以沿着与第1表面交叉的第1方向可移动的方式被支承在基体；光学功能部件，其具有与第2表面相对的第3表面和与第3表面相反侧的第4表面；和相对于光学功能部件配置在与反射镜器件相反侧的固定反射镜，在反射镜器件形成有构成分束器组件与固定反射镜之间的光路的第1部分的第1光通过部，其中，分束器组件与可动反射镜和固定反射镜一起构成干涉光学系统，在光学功能部件形成有构成分束器组件与固定反射镜之间的光路的第2部分的第2光通过部，基体的第2表面与光学功能部件的第3表面彼此接合在一起。

在该反射镜组件中，在反射镜器件与固定反射镜之间配置有光学功能部件，并且，该光学功能部件与反射镜器件的基体接合在一起。因此，能够在抑制基体的变形的状态下稳定地保持基体。因此，能够在反射镜器件使可动反射镜高精度地动作。并且，在反射镜器件形成有构成分束器组件与固定反射镜之间的光路的第1部分的第1光通过部，在光学功能部件形成有构成该光路的第2部分的第2光通过部。由此，能够在空间上高效地配置由分束器组件、可动反射镜和固定反射镜构成的干涉光学系统。根据以上说明，使用该反射镜组件能够紧凑地构成高精度的干涉光学系统。

在本发明的一个方面的反射镜组件中，基体的第2表面与光学功能部件的第3表面也可以通过直接键合而彼此接合在一起。由此，能够实现反射镜器件的基体与光学功能部件的牢固的接合。

在本发明的一个方面的反射镜组件中，固定反射镜也可以形成在光学功能部件的第4表面。由此，能够提高固定反射镜相对于反射镜器件的可动反射镜的位置精度和角度精度。