[发明专利]OPC检测方法、计算机设备及计算机可读存储介质

权利要求书

1.一种OPC检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供第一目标图形及第二目标图形，所述第一目标图形与所述第二目标图形具有交叠区；

对所述第一目标图形进行OPC处理，获得第一OPC图形；

对所述第二目标图形进行圆化处理，获得第一圆化图形；

选择与所述第一OPC图形相交的所述第一圆化图形，获得第二圆化图形，其中，在所述第一圆化图形中选择与所述第一OPC图形存在交叠部分的所述第一圆化图形作为所述第二圆化图形；

对所述第一OPC图形进行仿真，获得第一仿真图形；

将所述第一仿真图形与所述第二圆化图形进行逻辑否运算，获得第二仿真图形，所述第二仿真图形包括由所述第一仿真图形构成的第一边缘线及由所述第二圆化图形构成的第二边缘线，对所述第二仿真图形进行边缘线间距检测，获得第一报错位置；

将所述第二圆化图形与所述第一仿真图形进行逻辑否运算，获得第二报错位置；

合并所述第一报错位置及所述第二报错位置，获得所述OPC检测的结果图形。

2.根据权利要求1所述的OPC检测方法，其特征在于：对所述第二目标图形进行圆化处理获得第一圆化图形的步骤包括：

对所述第二目标图形进行OPC处理，获得第二OPC图形；

对所述第二OPC图形进行仿真，得到圆化半径；

通过所述圆化半径对所述第二目标图形进行圆化处理，获得所述第一圆化图形。

3.根据权利要求1所述的OPC检测方法，其特征在于：对所述第二仿真图形进行边缘线间距检测，获得第一报错位置的步骤包括：

设定边缘线间距阈值；

量测所述第二仿真图形中所述第一边缘线及所述第二边缘线的间距，当所述间距小于所述边缘线间距阈值时，记作所述第一报错位置。

4.根据权利要求3所述的OPC检测方法，其特征在于：所述边缘线间距阈值的范围为30nm～80nm。

5.根据权利要求3所述的OPC检测方法，其特征在于：当所述第一边缘线与所述第二边缘线之间具有交点时，还包括设置免检区的步骤。

6.根据权利要求5所述的OPC检测方法，其特征在于：所述免检区为所述第一边缘线上的量测点经所述交点至所述第二边缘线的量测点所构成的线长小于2倍～3倍的所述边缘线间距阈值的区域。

7.根据权利要求1所述的OPC检测方法，其特征在于：所述第一目标图形为注入层目标图形，所述第二目标图形为有源层目标图形。

8.根据权利要求1所述的OPC检测方法，其特征在于：获得所述第二报错位置的步骤在获得所述第一报错位置的步骤之前。

9.一种计算机设备，其特征在于：包括处理器以及存储器，所述处理器适于实现各指令，所述存储器适于存储多条指令，其中，所述指令适于由所述处理器加载并执行如权利要求1～8中任一所述的OPC检测方法。

10.一种计算机可读存储介质，其特征在于：所述计算机可读存储介质上存储有计算机可执行的指令，其中，当所述计算机可执行的指令被执行时实现如权利要求1～8中任一所述的OPC检测方法。