[发明专利]一种真空镀膜设备中搬送用的环形输送系统

权利要求书

1.一种真空镀膜设备中搬送用的环形输送系统，设置在真空镀膜设备的搬送腔内，所述搬送腔位于真空镀膜设备的工艺腔下方，其特征在于：所述环形输送系统包括若干料串单元、环形导轨以及动力装置，若干所述料串单元安装在环形导轨上，所述动力装置可与所述料串单元构成传动配合使所述料串单元沿着所述环形导轨移动。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备中搬送用的环形输送系统，其特征在于：所述料串单元包括装载轴、工件插座、球头柱塞、滑座，所述装载轴安装在所述工件插座内，所述工件插座设置在所述滑座上，所述球头柱塞设置在所述工件插座和所述滑座之间，所述滑座下方设置有滑动轮，所述滑动轮与所述动力装置构成传动配合。

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜设备中搬送用的环形输送系统，其特征在于：所述装载轴的下端设置有承重板，所述承重板位于所述工件插座的上方。

4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜设备中搬送用的环形输送系统，其特征在于：所述承重板上设置有防尘板。

5.根据权利要求1或2所述的一种真空镀膜设备中搬送用的环形输送系统，其特征在于：所述动力装置包括真空电机和减速机组、同步带轮组和螺杆，所述真空电机和减速机组通过所述同步带轮组和所述螺杆构成传动配合，所述螺杆与所述料串单元的滑动轮构成传动配合。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备中搬送用的环形输送系统，其特征在于：两个或两个以上的所述料串单元之间设置有连杆。