[发明专利]一种真空镀膜设备中搬送用的环形输送系统

说明书

本发明涉及镀膜设备技术领域，尤其是一种真空镀膜设备中搬送用的环形输送系统，其特征在于：所述环形输送系统包括若干料串单元、环形导轨以及动力装置，若干所述料串单元安装在环形导轨上，所述动力装置可与所述料串单元构成传动配合使所述料串单元沿着所述环形导轨移动。本发明的优点是：占地空间小，集约性强；单个装载轴下端配有配重装置，保持输送线的稳定，搬送精度高；结构简单、合理，搬送方便，适于推广。

技术领域

本发明涉及镀膜设备技术领域，尤其是一种真空镀膜设备中搬送用的环形输送系统。

背景技术

针对目前市场多样化的产品。异形基板越来越多，设计一款兼容不同形状基板的自动溅射镀膜设备是真空镀膜技术领域追求的目标。近年来，智能手机、平板电脑、AR/VR眼镜等电子产品市场蓬勃发展；相应地，这些智能终端的品质提升也对此类产品所需触摸屏的镀膜技术提出了更高要求。而在镀膜行业，对于客户来说，不同类型基板产需要在原来的平板载具的基础上，更新为异形产品装载轴载具，但是全自动搬送镀膜设备由于占地空间的概念，原来的堆栈结构会导致整个设备占地过大，对场地要求也会高，不利于生产。

发明内容

本发明的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种真空镀膜设备中搬送用的环形输送系统，通过在环形导轨上设置独立的料串单元，实现异形产品的自动化输送。

本发明目的实现由以下技术方案完成：

一种真空镀膜设备中搬送用的环形输送系统，设置在真空镀膜设备的搬送腔内，所述搬送腔位于真空镀膜设备的工艺腔下方，其特征在于：所述环形输送系统包括若干料串单元、环形导轨以及动力装置，若干所述料串单元安装在环形导轨上，所述动力装置可与所述料串单元构成传动配合使所述料串单元沿着所述环形导轨移动。

所述料串单元包括装载轴、工件插座、球头柱塞、滑座，所述装载轴安装在所述工件插座内，所述工件插座设置在所述滑座上，所述球头柱塞设置在所述工件插座和所述滑座之间，所述滑座下方设置有滑动轮，所述滑动轮与所述动力装置构成传动配合。

所述装载轴的下端设置有承重板，所述承重板位于所述工件插座的上方。

所述承重板上设置有防尘板。

所述动力装置包括真空电机和减速机组、同步带轮组和螺杆，所述真空电机和减速机组通过所述同步带轮组和所述螺杆构成传动配合，所述螺杆与所述料串单元的滑动轮构成传动配合。

两个或两个以上的所述料串单元之间设置有连杆。

本发明的优点是：占地空间小，集约性强；单个装载轴下端配有配重装置，保持输送线的稳定，搬送精度高；结构简单、合理，搬送方便，适于推广。

附图说明

图1为本发明的安装结构示意图；

图2为本发明的俯视图；

图3为图2的主视图；

图4为图3中的局部放大图。

具体实施方式

以下结合附图通过实施例对本发明特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：

如图1-4所示，图中标记1-14分别表示为：工件插座1、滑座2、滑动轮3、连杆4、球头柱塞5、环形导轨6、承重板7、防尘板8、螺杆9、同步带轮组10、真空电机和减速机组11、装载轴12、工艺腔13、搬送腔14。