[发明专利]一种供气系统和供气方法

权利要求书

1.一种供气系统，其特征在于，包括依次连接的气源总成、第一气路、质量流量控制器、第二气路以及目标设备；

当所述气源总成处于工作状态，所述气源总成与所述质量流量控制器之间通过所述第一气路保持连通，所述质量流量控制器与所述目标设备之间通过所述第二气路保持连通，所述第一气路和所述第二气路之间通过所述质量流量控制器选择性地连通；

所述气源总成包括依次连接的气源组件、第四气路以及过滤器；

当所述气源总成处于工作状态，所述气源组件配置为向所述过滤器供气，所述过滤器与所述质量流量控制器之间通过所述第一气路保持连通；

所述气源组件包括依次连接的气源装置、第五气路以及开关阀，所述气源装置与所述过滤器通过所述开关阀选择性地连通，所述开关阀处于常开状态。

2.根据权利要求1所述的供气系统，其特征在于，所述第一气路为第一输送管，所述第一输送管分别与所述气源总成和所述质量流量控制器直接连接；和/或，所述第二气路为第二输送管，所述第二输送管分别与所述质量流量控制器和目标设备直接连接。

3.根据权利要求1或2所述的供气系统，其特征在于，所述质量流量控制器包括在所述第一气路与所述第二气路之间依次连接的质量流量计、第三气路以及流量调节阀，所述质量流量计测得的流量用于确定所述流量调节阀的开度；

当所述气源总成处于工作状态，所述质量流量计与所述气源总成之间通过所述第一气路保持连通，所述流量调节阀与所述目标设备之间通过所述第二气路保持连通。

4.根据权利要求1或2所述的供气系统，其特征在于，所述质量流量控制器包括在所述第一气路与所述第二气路之间依次连接的流量调节阀、第三气路以及质量流量计，所述质量流量计测得的流量用于确定所述流量调节阀的开度；

当所述气源总成处于工作状态，所述流量调节阀与所述气源总成之间通过所述第一气路保持连通，所述质量流量计与所述目标设备之间通过所述第二气路保持连通。

5.根据权利要求1或2所述的供气系统，其特征在于，所述第四气路为第四输送管，所述第四输送管分别与所述气源组件和所述过滤器直接连接。

6.根据权利要求1或2所述的供气系统，其特征在于，所述第五气路为第五输送管，所述第五输送管分别与所述气源装置和所述开关阀直接连接。

7.根据权利要求1或2所述的供气系统，其特征在于，所述目标设备为清洗机台，所述清洗机台配置为对晶圆进行清洗和干燥。

8.一种供气方法，其特征在于，应用于权利要求1~7任一项所述的供气系统，所述供气方法包括连通步骤和截止步骤；

所述连通步骤包括：打开所述质量流量控制器，通过所述质量流量控制器连通所述气源总成与所述目标设备；

所述截止步骤包括：关闭所述质量流量控制器，通过所述质量流量控制器将所述气源总成与所述目标设备之间截止。