[发明专利]一种离面检测陀螺仪在审
申请号: | 202110697584.2 | 申请日: | 2021-06-23 |
公开(公告)号: | CN113375653A | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
发明(设计)人: | 丁希聪;凌方舟;蒋乐跃;金羊华 | 申请(专利权)人: | 美新半导体(天津)有限公司 |
主分类号: | G01C19/5656 | 分类号: | G01C19/5656 |
代理公司: | 苏州简理知识产权代理有限公司 32371 | 代理人: | 庞聪雅 |
地址: | 300450 天津市自贸试验区(*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 检测 陀螺仪 | ||
1.一种离面检测陀螺仪,其特征在于,其包括:
左框架结构,其位于中心点A的左侧,其内定义有第一空间,所述左框架结构能够沿X轴进行谐振运动;
右框架结构,其位于所述中心点A的右侧,其内定义有第二空间,所述右框架结构与所述左框架结构平行且间隔预定距离,其能够沿X轴进行与所述左框架结构反向的谐振运动;
左移动质量块,其位于所述左框架结构的第一空间内,其通过第一倾斜挠性梁与所述左框架结构相连;
左敏感质量块,其位于所述左框架结构的第一空间内,其通过第一敏感挠性梁与所述左移动质量块相连;
右移动质量块,其位于所述右框架结构的第二空间内,其通过第二倾斜挠性梁与所述右框架结构相连;
右敏感质量块,其位于所述右框架结构的第二空间内,其通过第二敏感挠性梁与所述右移动质量块相连。
2.根据权利要求1所述的离面检测陀螺仪,其特征在于,其还包括:
中心耦合梁锚点,其位于所述左框架和右框架结构之间;
中心耦合梁,其与所述中心耦合梁锚点相连,且所述中心耦合梁连接于所述左框架结构和右框架结构之间,所述中心耦合梁设置的促使所述左框架结构和右框架结构沿X轴反向运动,
其中,X轴和Y轴相互垂直并且定义了所述离面检测陀螺仪所在的平面,Z轴垂直于X轴和Y轴所定义的平面,X轴沿左右方向,Y轴沿上下方向,坐标原点为所述中心点A。
3.根据权利要求2所述的离面检测陀螺仪,其特征在于,其还包括:
左框架结构锚点;
左框架结构支撑梁,其连接于所述左框架结构锚点和所述左框架结构之间;
右框架结构锚点;
右框架结构支撑梁,其连接于所述右框架结构锚点和所述右框架结构之间;
分别设置于所述左框架结构的上下两侧的第一驱动电极组和第二驱动电极组;
分别设置于所述右框架结构的上下两侧的第三驱动电极组和第四驱动电极组;
通过在所述第一驱动电极组和第二驱动电极组上施加驱动电压驱动所述左框架结构沿X轴进行谐振运动;
通过在所述第三驱动电极组和第四驱动电极组上施加驱动电压驱动所述右驱动框架结构沿X轴进行与所述左框架结构反向的谐振运动。
4.根据权利要求3所述的离面检测陀螺仪,其特征在于,
所述左框架结构锚点位于所述左框架结构的周围,所述左框架结构支撑梁位于所述左框架结构的周围,其中,每个左框架结构锚点通过对应的一个左框架结构支撑梁与所述左框架结构相连;
所述右框架结构锚点位于所述右框架结构的周围,所述右框架结构支撑梁位于所述右框架结构的周围,其中,每个右框架结构锚点通过对应的一个右框架结构支撑梁与所述右框架结构相连。
5.根据权利要求3所述的离面检测陀螺仪,其特征在于,
所述第一驱动电极组、第二驱动电极组、第三驱动电极组和第四驱动电极组固定设置于基底上;
所述左框架结构和左框架结构支撑梁悬置于所述基底上方;所述右框架结构和右框架结构支撑梁悬置于所述基底上方;
所述左框架结构锚点固定设置于基底上;所述右框架结构锚点固定设置于基底上;
所述左移动质量块、右移动质量块、左敏感质量块和右敏感质量块悬置于所述基底上方;
所述第一倾斜挠性梁、第二倾斜挠性梁、第一敏感挠性梁和第二敏感挠性梁悬置于所述基底上方;
所述中心耦合梁锚点固定设置于所述基底上;
中心耦合梁悬置于所述基底上方。
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