[发明专利]基于菲林光刻工艺的透明天线制备方法及透明天线

权利要求书

1.一种基于菲林光刻工艺的透明天线制备方法，其特征在于，按照如下步骤进行透明天线的制备：

S1.低可视透明天线结构的设计；

S2.绘制低可视透明天线结构图形，将低可视透明天线结构图形出到菲林片上制作菲林掩膜版；

S3.对透明导电膜和感光干膜进行预定尺寸的裁切以及前处理；

S4.透明导电膜表面贴上感光干膜，将贴好感光干膜的导电薄膜曝光；贴好感光干膜的透明导电膜置于曝光区的平面上，然后盖上制作好的菲林掩膜版并压平，使菲林掩膜版与感光干膜充分接触，采用纸胶带将菲林掩膜版固定于曝光区平面上，然后打开曝光机进行曝光，曝光过程中光垂直打到菲林掩膜版上；

S5.显影露出透明天线的结构图案；

S6.通过刻蚀液刻蚀出透明天线的形状；

S7.去除透明导电膜表面的感光干膜并清洗烘干，得到所需透明导电膜；

S8.将得到的透明导电膜贴在透明板材上；

S9.对透明板材进行裁切，得到所需透明天线；

S10.将透明天线接上射频接头或射频线缆；

所述步骤S5中采用碳酸钠溶液对感光干膜进行显影，碳酸钠的质量分数为0.8-1.2％，所述步骤S5中显影液温度为32-35℃；

所述步骤S7中用氢氧化钠溶液对感光干膜进行去膜，所述氢氧化钠溶液的质量分数为2-5％，所述氢氧化钠溶液温度为50-55℃；

所述透明导电膜表面贴上感光干膜包括：

采用热压粘合的方式将感光干膜贴到透明导电膜上，热压粘合的条件为，热压辊温度为80-110℃，压合时压力3-5kg/cm²；所述感光干膜具有三层结构，分别为PE层、光刻胶层、PET层将撕掉PE层的感光干膜放到透明导电膜上送进热压辊，拉住感光干膜后端，使其平稳进入热压辊，其中感光干膜前端要置于透明导电膜前端后0.5-1cm以防止透明导电膜和感光干膜卷进热压辊。

2.根据权利要求1所述的基于菲林光刻工艺的透明天线制备方法，其特征在于，所述步骤S2中绘制低可视透明天线图形结构的最细线条宽度不超过10μm。

3.根据权利要求1所述的基于菲林光刻工艺的透明天线制备方法，其特征在于，所述步骤S3中透明导电膜为透明ITO薄膜、透明石墨烯薄膜、透明金属网格薄膜、透明银纳米线薄膜中的一种。

4.根据权利要求1所述的基于菲林光刻工艺的透明天线制备方法，其特征在于，所述步骤S4中曝光使用的光源为紫外光，波长范围为365-420nm。

5.根据权利要求1所述的基于菲林光刻工艺的透明天线制备方法，其特征在于，所述步骤S6中采用刻蚀溶液对透明导电膜进行刻蚀，刻蚀溶液根据透明导电薄膜的导电材质进行选型。

6.根据权利要求1所述的基于菲林光刻工艺的透明天线制备方法，其特征在于，所述步骤S3-S8在黄光区下完成。

7.采用如权利要求1～6任一项所述的方法制备得到的透明天线。