[发明专利]基于菲林光刻工艺的透明天线制备方法及透明天线

说明书

本发明公开了一种基于菲林光刻工艺的透明天线制备方法及透明天线，该方法包括S1.低可视透明天线结构的设计；S2.将低可视透明天线结构图形出到菲林片上制作菲林掩膜版；S3.对透明导电膜和感光干膜进行预定尺寸的裁切以及前处理；S4.透明导电膜表面贴上感光干膜，将贴好感光干膜的导电薄膜曝光；S5.显影露出透明天线的结构图案；S6.通过刻蚀液刻蚀出透明天线的形状；S7.去除透明导电膜表面的感光干膜并清洗烘干，得到所需透明导电膜；S8.将得到的透明导电膜贴在透明板材上；S9.对透明板材进行裁切，得到所需透明天线，S10.将透明天线接上射频接头或射频线缆。本发明具有较高的加工精度，可拓展至大面积制备，制作出的天线外观不易被察觉，具备低可视特征。

技术领域

本发明涉及透明天线技术领域，特别是涉及一种基于菲林光刻工艺的透明天线制备方法及透明天线。

背景技术

天线作为一种能够发射和接收电磁波的部件，在无线通信系统中的具有重要的作用，近些年来，随着无线通信技术的不断发展，人们对无线通信技术的要求也不断提高，因此，天线越来越引起人们的关注，关于天线的研究也在不断深入，在一些特种汽车或者轮船上，庞大的天线在视觉上不仅影响美观，而且在实际环境中也不利于安全和隐蔽，由于透明导电薄膜具有光透明特性及导电性，因此可以用它来设计透明天线，达到天线视觉美观、安全可靠及隐蔽性好的效果。然而，透明天线从设计出来到实际的使用中间还要有一个加工制造的过程，目前市场上制备透明天线的过程为在透明导电薄膜天线图案区域印刷抗蚀油墨，再经蚀刻液蚀刻以及后续的处理完成天线的加工。

但是，申请人发现这些技术存在许多问题。上述方案虽然能达到满足天线使用性能的要求，但整个操作过程耗时长、成本高，产生废液污染环境而且产生有毒气体对操作人员的健康造成危害，加工线条宽度约200μm，难以达到隐蔽性好的效果。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种基于菲林光刻工艺的透明天线制备方法及透明天线。

为了解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种基于菲林光刻工艺的透明天线制备方法，按照如下步骤进行透明天线的制备：

S1.低可视透明天线结构的设计；

S2.绘制低可视透明天线结构图形，将低可视透明天线结构图形出到菲林片上制作菲林掩膜版；

S3.对透明导电膜和感光干膜进行预定尺寸的裁切以及前处理；

S4.透明导电膜表面贴上感光干膜，将贴好感光干膜的导电薄膜曝光；

S5.显影露出透明天线的结构图案；

S6.通过刻蚀液刻蚀出透明天线的形状；

S7.去除透明导电膜表面的感光干膜并清洗烘干，得到所需透明导电膜；

S8.将得到的透明导电膜贴在透明板材上；

S9.对透明板材进行裁切，得到所需透明天线；

S10.将透明天线接上射频接头或射频线缆。

进一步地，所述步骤S2中绘制低可视透明天线图形结构的最细线条宽度不超过10μm。

进一步地，所述步骤S3中透明导电膜为透明ITO薄膜、透明石墨烯薄膜、透明金属网格薄膜、透明银纳米线薄膜中的一种。

进一步地，所述步骤S4中采用热压粘合的方式在透明导电薄膜表面贴感光干膜，热压粘合的条件为，热压辊温度为80-110℃，压合时压力3-5kg/cm²。

进一步地，所述步骤S4中曝光使用的光源为紫外光，波长范围为365-420nm。