[发明专利]蒸镀坩埚及蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：

坩埚主体，包括用于形成容纳腔的坩埚底壁和坩埚侧壁；

遮挡组件，包括至少两个挡板，至少两个所述挡板可拆卸地置于所述容纳腔内，所述挡板包括阻挡片，所述阻挡片具有通孔，在垂直于所述坩埚底壁所在平面的方向上，至少两个所述挡板的所述阻挡片之间具有间隔，且至少两个所述挡板中的至少部分所述通孔互不交叠；

坩埚上盖，盖合于所述坩埚主体上，所述坩埚上盖具有坩埚口；

所述遮挡组件还包括用于承载所述挡板的套筒，所述套筒置于所述容纳腔内；

所述套筒包括悬挂件、套筒侧壁和托盘，其中，所述悬挂件和所述托盘分别固定于所述套筒侧壁的两侧，所述悬挂件悬挂在所述坩埚侧壁上，至少两个所述挡板承载在所述托盘上，并且，所述托盘具有开口；

所述挡板还包括用于支撑所述阻挡片的支撑座；

所述支撑座可拆卸地安装在所述阻挡片上；

当至少两个所述挡板放置在所述套筒的所述托盘上时，最底部的所述挡板的支撑座置于所述托盘上，置于上面的所述挡板的支撑座放置在下面紧邻的所述挡板的阻挡片的边缘；

至少两个所述挡板包括第一挡板，所述第一挡板为与所述坩埚底壁相距最近的挡板；

所述第一挡板包括第一通孔和第二通孔，所述第一通孔的孔径小于所述第二通孔的孔径；

所述第一挡板具有中间区域和围绕所述中间区域的外围区域，所述第一通孔和第二通孔位于所述外围区域，且在所述外围区域内呈环形交替排布；

所述套筒侧壁为可伸缩的侧壁；

至少两个所述挡板还包括：

第二挡板，位于所述第一挡板远离所述坩埚底壁一侧，所述第二挡板包括第三通孔和围绕所述第三通孔的多个第四通孔，所述第四通孔大于或等于所述第二通孔的孔径，所述第三通孔的孔径大于或等于所述第二通孔的孔径；

第三挡板，位于所述第二挡板远离所述坩埚底壁一侧，所述第三挡板包括呈环形交替排布的第五通孔和第六通孔、以及呈环形排布的第七通孔，所述第五通孔和所述第七通孔的孔径分别小于所述第六通孔的孔径；

在垂直于所述坩埚底壁所在平面的方向上，所述第七通孔的投影环绕所述第三通孔的投影，所述第四通孔的投影环绕所述第七通孔的投影，所述第五通孔和所述第六通孔的投影环绕所述第四通孔的投影，所述第一通孔和所述第二通孔的投影环绕所述第四通孔的投影。

2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，

所述套筒和/或至少两个所述挡板采用钛材料形成。

3.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，

在垂直于所述坩埚底壁所在平面的方向上，任意相邻两个所述挡板中的所述通孔互不交叠。

4.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，

至少两个不同挡板中的所述通孔的形状和/或所述通孔的尺寸不同；

和/或，同一所述挡板中的所述通孔的形状和/或所述通孔的尺寸不同。

5.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，

所述第一挡板的通孔开口率大于其他所述挡板的通孔开口率。

6.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，

所述第一通孔的孔径为R1，所述第二通孔的孔径为R2，R1＜L，R2≥L，L为所述容纳腔内放置的蒸镀材料的颗粒尺寸。

7.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，

所述第三挡板为与所述坩埚底壁相距最远的挡板；

在垂直于所述坩埚底壁所在平面的方向上，所述第三挡板的所述通孔的投影与所述坩埚口的投影不交叠。

8.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，

所述第五通孔的孔径为R5，所述第六通孔的孔径为R6，所述第七通孔的孔径为R7，R5＜L，R6≥L，R7＜L，L为所述容纳腔内放置的蒸镀材料的颗粒尺寸。

9.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，

所述第二挡板的所述通孔的孔径大于或等于所述第一挡板、所述第三挡板的所述通孔的孔径。