[发明专利]蒸镀坩埚及蒸镀装置

说明书

本发明实施例提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，涉及蒸镀技术领域，提高了蒸镀形成的薄膜质量。蒸镀坩埚包括：坩埚主体，包括用于形成容纳腔的坩埚底壁和坩埚侧壁；遮挡组件，包括至少两个挡板，至少两个挡板可拆卸地置于容纳腔内，挡板包括阻挡片，阻挡片具有通孔，在垂直于坩埚底壁所在平面的方向上，至少两个挡板的阻挡片之间具有间隔，且至少两个挡板中的至少部分通孔互不交叠；坩埚上盖，盖合于坩埚主体上，坩埚上盖具有坩埚口。

【技术领域】

本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀坩埚及蒸镀装置。

【背景技术】

相较于传统的液晶显示，有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示具有高亮度、低功耗、响应快、发光效率高等优势，广泛应用于各类显示装置中。

有机发光二极管通常采用蒸镀工艺形成。蒸镀时，蒸镀材料(如金属材料或有机材料)置于蒸镀坩埚中，蒸镀坩埚外部利用加热丝进行加热，使蒸镀材料转换为气态，蒸镀气体透过蒸镀坩埚的坩埚口逸至待蒸镀基板上，进而在待蒸镀基板上形成蒸镀膜层。

然而，采用现有的蒸镀坩埚所蒸镀出来的膜层存在表面颗粒物较多、膜厚不均等不良问题，导致有机发光二极管的良率较低。

【发明内容】

有鉴于此，本发明实施例提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，提高了蒸镀形成的薄膜质量。

一方面，本发明实施例提供了一种蒸镀坩埚，包括：

坩埚主体，包括用于形成容纳腔的坩埚底壁和坩埚侧壁；

遮挡组件，包括至少两个挡板，至少两个所述挡板可拆卸地置于所述容纳腔内，所述挡板包括阻挡片，所述阻挡片具有通孔，在垂直于所述坩埚底壁所在平面的方向上，至少两个所述挡板的所述阻挡片之间具有间隔，且至少两个所述挡板中的至少部分所述通孔互不交叠；

坩埚上盖，盖合于所述坩埚主体上，所述坩埚上盖具有坩埚口。

另一方面，本发明实施例提供了一种蒸镀装置，包括上述蒸镀坩埚。

上述技术方案中的一个技术方案具有如下有益效果：

以蒸镀坩埚包括三个挡板为例，蒸镀过程中溅射金属颗粒和产生金属灰时，金属颗粒和金属灰会被多个挡板进行层层遮挡：金属颗粒和金属灰逸至底部的挡板时，会被底部的挡板遮挡住一大部分，而其余未被遮挡住的金属颗粒和金属灰继续向上传输时，会进一步被中间的挡板进一步遮挡。若还存在少量的金属颗粒和金属灰经由中间的挡板逸出，该部分金属颗粒和金属灰还会被顶部的挡板进一步遮挡，最终使经由坩埚口透出的金属颗粒和金属灰很少甚至没有。

在本发明实施例中，通过在容纳腔内设置至少两个挡板，并且令至少两个挡板中的至少部分通孔错位设置，可以使经由某一挡板的通孔逸出的金属颗粒和金属灰进一步被上层的挡板遮挡住，避免金属颗粒和金属灰径直传输至坩埚口，从而实现使金属颗粒和金属灰几乎全部拦截在坩埚内部，无法逸出。这样不仅减小了金属颗粒和金属灰附着在所蒸镀的膜层上的风险，有效避免由金属颗粒导致的膜层被击穿、以及由金属灰导致的暗点问题，而且还可以避免坩埚堵口，提高所蒸镀膜层的膜厚均一性，进而有效提高了产品良率。

此外，现有技术中的挡板不可拆卸地固定在坩埚主体内，当一次蒸镀完成后，挡板无法拆卸，因而难以将挡板和坩埚主体清洗干净，导致下次蒸镀时挡板和坩埚主体内存在异物，对所蒸镀的膜层造成污染，而且，由于难以进行有效清洗，现有的蒸镀坩埚设计容易报废，缺乏长期实用性，应用成本较高。而在本发明实施例中，挡板则是可拆卸地置于容纳腔内的，当一次蒸镀完成之后，可以将挡板从坩埚主体上拆卸下来，对挡板和坩埚主体进行独立清洗，避免下次使用时挡板和坩埚主体上存在异物，而且，该种设计可以使蒸镀坩埚多次反复使用，应用成本较低。