[发明专利]硅片的输送装置

权利要求书

1.一种硅片的输送装置，其特征在于，所述输送装置包括：

主动带轮；

传送带，套设于所述主动带轮的外部，且沿所述传送带的延伸方向间隔设置有多个用于承载所述硅片的托块；

其中，主动带轮能够周期性地旋转，以带动所述托块沿所述传送带的延伸方向周期性地运动，且所述主动带轮在各所述周期内的转角与所述主动带轮的半径的乘积，等于相邻的所述托块的间距；

张紧轮，与所述传送带的用于与所述主动带轮接触的一侧抵接，用于将所述传送带的部分下压，以张紧所述传送带；

两个支撑轮，沿所述传送带的延伸方向，设置于所述张紧轮的两侧，且均与所述传送带的远离所述主动带轮的一侧抵接，所述支撑轮的表面设置有第一凹槽，在所述托块随所述传送 带运动至所述支撑轮的位置处，所述第一凹槽运动至面向所述传送带的位置，且所述托块的至少部分能够运动至所述第一凹槽内。

2.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，所述输送装置还包括：

机架，与所述主动带轮可旋转地连接。

3.根据权利要求2所述的输送装置，其特征在于，在各所述周期内，所述主动带轮旋转一周。

4.根据权利要求2所述的输送装置，其特征在于，所述输送装置还包括：

驱动组件，与所述机架连接，并与所述主动带轮连接，用于驱动所述主动带轮周期性地旋转。

5.根据权利要求4所述的输送装置，其特征在于，所述驱动组件包括：

电机，与所述机架连接；

同步轮，与所述电机连接，以在所述电机的驱动下周期性旋转；

同步带，套设在所述同步轮与所述主动带轮的外部，以带动所述主动带轮周期性地旋转。

6.根据权利要求2所述的输送装置，其特征在于，所述张紧轮与所述机架可旋转地连接。

7.根据权利要求6所述的输送装置，其特征在于，沿所述传送带的延伸方向，所述传送带的用于与所述主动带轮接触的一侧间隔设置有第一轮齿；所述主动带轮和所述张紧轮的表面均设置有能够与所述第一轮齿啮合的第二轮齿。

8.根据权利要求2所述的输送装置，其特征在于，所述输送装置还包括：

托起轮，与所述机架可旋转地连接，与所述传送带的远离所述主动带轮的一侧抵接，用于托起所述传送带，且所述托起轮的表面设置有用于容纳所述托块的至少部分的第二凹槽。

9.根据权利要求2所述的输送装置，其特征在于，所述输送装置还包括：

导向组件，与所述机架连接，且在垂直与所述传送带的延伸方向上，位于所述传送带的两侧，并与所述传送带抵接。