[发明专利]一种适用于Micro OLED的旋涂方法及Micro OLED结构

说明书

本发明提供一种应用于Micro OLED技术领域的适用于Micro OLED的旋涂方法，本发明还涉及一种Micro OLED结构，所述的适用于Micro OLED的旋涂方法的步骤是：在过渡基板(4)上制备亲水材料层(3)，亲水材料层(3)选用环氧乙烷、聚酰亚胺、聚甲基丙烯酸甲酯中的一种；将亲水材料层(2)转移到基板(1)的凹陷位置(5)；在过渡基板(4)上制备疏水材料层(7)，疏水材料层(7)选用氟化聚乙烯，聚烯烃，聚碳酸酯中的一种；将亲水材料层(2)转移到基板(1)的凸起位置(8)，本发明所述的适用于Micro OLED的旋涂方法及Micro OLED结构，搭配使用有机液滴的亲疏水性，分别设置不同的亲疏水结构，改变凹凸部位对有机液滴的保有能力，达到改善旋涂不均问题。

技术领域

本发明属于Micro OLED技术领域，更具体地说，是涉及一种适用于Micro OLED的旋涂方法，本发明还涉及一种Micro OLED结构。

背景技术

在半导体、面板显示及其他微纳加工领域，有机层的制备通常采用涂布的方式。对于方形或者大尺寸涂布，通常会采用夹缝涂布的方式，该方式通常制备的有机胶厚度较厚；对于圆形或小尺寸涂布，通常会采用旋涂的方式，该方式可以实现较薄有机胶厚度的制备。除此之外，仍然有喷墨打印及喷涂的方式制备有机胶。在微显示Micro OLED领域，由于基板形状为圆形，直径大小为200mm、300mm等，而且对有机层膜厚要求精确，厚度较薄，因此，不可避免地需要使用旋涂的工艺。在旋涂过程中，若底部基板表面平整，则可以获得较好的膜厚均一性；但若底层凹凸不平，不可避免地会出现不均匀的现象，严重的会影响产品性能。虽然通过工艺的改变，如阶梯式调整转速，步进式改变滴胶位置可以一定程度上缓解，但仍然不能彻底解决。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种步骤简单，能够通过在基板的凹凸不同部位，搭配使用有机液滴的亲疏水性，使用激光转印的方法，分别设置不同的亲疏水结构，改变凹凸部位对有机液滴的保有能力，从而达到改善旋涂不均的结果的Micro OLED的旋涂方法。

要解决以上所述的技术问题，本发明采取的技术方案为：

本发明为一种适用于Micro OLED的旋涂方法，所述的适用于Micro OLED的旋涂方法的步骤是：

S1.在平整的过渡基板上制备亲水材料层，制备亲水材料层时的方式选择旋涂或刮涂或喷墨打印，亲水材料层的材料选用环氧乙烷、聚酰亚胺、聚甲基丙烯酸甲酯中的一种；

S2.将制备好的过渡基板和亲水材料层与表面凹凸的基板对位，其中掩模版Ⅰ置于亲水材料层与基板之间，通过激光转印方式将亲水材料层转移到基板的凹陷位置；

S3.在平整的过渡基板上制备疏水材料层，制备疏水材料层时的方式选择旋涂、刮涂、喷墨打印，疏水材料层材料选用氟化聚乙烯，聚烯烃，聚碳酸酯中的一种；

S4.将制备好的过渡基板和亲水材料层与表面凹凸的基板对位，其中掩模版Ⅱ置于亲水材料层与基板之间，通过激光转印方式将亲水材料层转移到基板的凸起位置。

所述的适用于Micro OLED的旋涂方法适用于有机胶为亲水性时。

所述的亲水材料层的材料优选聚甲基丙烯酸甲酯。

所述的亲水材料层的厚度可选10nm-1000nm，其中优选为20nm。

所述的疏水材料层的厚度可选10nm-1000nm，其中优选为10nm。

所述的疏水材料层优选氟化聚乙烯。

当有机胶为疏水性质时，将S1、S3步骤对调，即：