[发明专利]用于芯片检测的参考模板的生成方法及相关设备在审
申请号: | 202110711170.0 | 申请日: | 2021-06-25 |
公开(公告)号: | CN113514475A | 公开(公告)日: | 2021-10-19 |
发明(设计)人: | 林宜龙;刘飞;王能翔;林涛;官声文 | 申请(专利权)人: | 深圳格芯集成电路装备有限公司 |
主分类号: | G01N21/93 | 分类号: | G01N21/93;G01N21/88 |
代理公司: | 深圳市特讯知识产权代理事务所(普通合伙) 44653 | 代理人: | 孟智广 |
地址: | 518000 广东省深圳市坪山区龙田街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 芯片 检测 参考 模板 生成 方法 相关 设备 | ||
1.一种用于芯片检测的参考模板的生成方法,其特征在于,所述方法包括:
获取芯片数据;
根据所述芯片数据,生成所述芯片数据对应的映射模板;
将所述映射模板与预设的良品图像进行匹配,得到匹配结果;
根据所述匹配结果,对所述映射模板进行调整,得到参考模板。
2.根据权利要求1所述用于芯片检测的参考模板的生成方法,其特征在于,所述根据所述芯片数据,生成所述芯片数据对应的映射模板,具体包括:
根据预设的提取规则,提取所述芯片数据中的模板数据;
根据所述模板数据,生成所述芯片数据对应的映射模板。
3.根据权利要求2所述用于芯片检测的参考模板的生成方法,其特征在于,所述模板数据包括尺寸数据以及若干个焊接点对对应的位置坐标。
4.根据权利要求3所述用于芯片检测的参考模板的生成方法,其特征在于,所述根据所述模板数据,生成所述芯片数据对应的映射模板,具体包括:
根据所述尺寸数据,创建与所述芯片数据对应的空白模板;
针对每一个所述焊接点对,根据所述空白模板中该焊接点对对应的位置坐标,在所述空白模板上进行连线,生成该焊接点对应的焊接曲线以及包括所述焊接曲线的映射模板。
5.根据权利要求4所述用于芯片检测的参考模板的生成方法,其特征在于,所述芯片数据还包括每一个所述焊接点对对应的焊接弧度数据;所述针对每一个所述焊接点对,根据所述空白模板中该焊接点对对应的位置坐标,在所述空白模板上进行连线,生成该焊接点对应的焊接曲线以及包括所述焊接曲线的映射模板,具体包括:
针对每一个所述焊接点对,根据所述空白模板中该焊接点对对应的位置坐标,对该焊接点对进行连接,得到初始曲线;
根据所述焊接弧度数据,对所述初始曲线进行调整,得到中间曲线;
根据预设的膨胀参数,对所述中间曲线进行膨胀,得到焊接曲线以及所述映射模板。
6.根据权利要求5所述用于芯片检测的参考模板的生成方法,其特征在于,所述根据预设的膨胀参数,对所述中间曲线进行膨胀,得到目标曲线之前,还包括:
获取芯片数据对应的工艺参数;
根据所述工艺参数,确定所述芯片数据对应的膨胀参数。
7.根据权利要求1~6中任意一项所述用于芯片检测的参考模板的生成方法,其特征在于,所述根据所述匹配结果,对所述映射模板进行调整,得到参考模板之后,还包括:
将所述参考模板发送至预先连接的芯片检测装置,以供所述芯片检测装置根据所述参考模板对待检测的芯片进行检测。
8.一种用于芯片检测的参考模板的生成装置,其特征在于,所述用于芯片检测的参考模板的生成装置具体包括:
获取模块,用于获取芯片数据;
生成模块,用于根据所述芯片数据,生成所述芯片数据对应的映射模板;
匹配模块,用于将所述映射模板与预设的良品图像进行匹配,得到匹配结果;
调整模块,用于根据所述匹配结果,对所述映射模板进行调整,得到参考模板。
9.一种计算机可读存储介质,其特征在于,所述计算机可读存储介质存储有一个或者多个程序,所述一个或者多个程序可被一个或者多个处理器执行,以实现如权利要求1~7任意一项所述的用于芯片检测的参考模板的生成方法中的步骤。
10.一种终端设备,其特征在于,包括:处理器、存储器及通信总线;
所述存储器上存储有可被所述处理器执行的计算机可读程序;
所述通信总线实现处理器和存储器之间的连接通信;
所述处理器执行所述计算机可读程序时实现如权利要求1~7任意一项所述的用于芯片检测的参考模板的生成方法中的步骤。
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