[发明专利]一种镜片双舱真空镀膜工艺

权利要求书

1.一种镜片双舱真空镀膜工艺，其特征在于，当镜片双舱真空镀膜机的主舱(1)与辅舱(2)真空环境一致且阀门开启连通时，将辅舱(2)内的待镀膜镜片向主舱(1)转运、或将主舱(1)内的已镀膜镜片向辅舱(2)转运；当主舱(1)与辅舱(2)之间的阀门关闭时，在主舱(1)内对镜片真空镀膜、在辅舱(2)内解除真空环境、放入待镀膜镜片或取出已镀膜镜片、并在放入或取出操作后抽真空至辅舱(2)与主舱(1)真空环境一致；重复转运、取放操作进行连续镜片真空镀膜；

镜片双舱真空镀膜机的主舱(1)和辅舱(2)之间通过插板阀门(3)启闭，所述插板阀门(3)上设有启闭、用于通过镜片的物料口(4)；

所述插板阀门(3)内设有可以相对物料口(4)升降、前后移动的插板门板(5)，所述插板门板(5)通过两侧同步竖直回转的第一链条(6)实现升降移动、通过两侧前后移动的气缸滑块(50)实现前后移动，第一链条(6)内设有同步旋转的第一链轮(7)，插板门板(5)与物料口(4)内壁之间设有若干千斤顶(8)；

镜片双舱真空镀膜机的辅舱(2)内通过可以升降的辅舱平台(9)取放镜片，主舱(1)内通过可以升降的主舱平台(10)承载镜片；

所述主舱平台(10)和辅舱平台(9)分别通过双舱真空镀膜机顶部四角处同步旋转的第二链轮(11)正反旋转、驱动啮合的第二链条(12)吊连主舱平台(10)或辅舱平台(9)、实现升降移动；

所述辅舱平台(9)包括至少两个平台架(13)，所述平台架(13)、主舱平台(10)两侧设有对应旋转的若干第一滚轮(14)、阀门上设有对应第一滚轮(14)的第二滚轮(15)，通过第一滚轮(14)、第二滚轮(15)滚动配合的移动平台(48)实现镜片转运，转运时通过镜片双舱真空镀膜机位于主舱平台(10)或辅舱平台(9)侧的传感器(16)感应定位；

镀膜时通过镜片双舱真空镀膜机主舱(1)顶部的旋转抓手(17)抓夹镜片并驱动镜片旋转，所述旋转抓手(17)包括减速旋转带动镜片旋转的齿轮套(18)、绕齿轮套(18)底部一周间隔且可外扩或内缩抓夹的夹板(19)，所述夹板(19)通过顶部升降移动的夹头外环(20)锥面(21)配合、夹板(19)上活动滑板(22)与主舱(1)顶部的固定滑板(23)滑动配合、夹板(19)与固定滑板(23)之间的拉簧(24)作用实现外扩或内缩；

所述的一种镜片双舱真空镀膜工艺，其具体步骤如下：

S1：清洗镜片、待镀膜的镜片放置在镜片架(29)上；

S2：打开镜片双舱真空镀膜机的辅舱(2)进出料口(27)，将步骤S1的镜片架(29)整体放入辅舱平台(9)的空平台架(13)上、关闭辅舱(2)进出料口(27)，对镜片双舱真空镀膜机的辅舱(2)抽真空、加热作业；

S3：对镜片双舱真空镀膜机的主舱(1)进行抽真空、加热作业至与辅舱(2)压力、温度一致；

S4：打开镜片双舱真空镀膜机辅舱(2)与主舱(1)之间的插板阀门(3)、辅舱平台(9)与主舱平台(10)升降平齐，经转运机构将镜片架(29)整体由辅舱平台(9)、插板阀门(3)的物料口(4)转运至主舱平台(10)上、关闭插板阀门(3)；

S5：主舱平台(10)在镜片双舱真空镀膜机的主舱(1)内上升、经旋转抓手(17)抓夹吊装镜片架(29)，辅舱平台(9)下降脱离镜片架(29)；

S6：由旋转抓手(17)驱动吊装的镜片架(29)旋转、并进行真空镀膜，同时辅舱(2)进气解除真空环境、重复步骤S2至辅舱(2)压力、温度与主舱(1)一致；

S7：镀膜结束后、主舱平台(10)上升，旋转抓手(17)停止旋转并解除对镜片架(29)的抓夹、使镜片架(29)随主舱平台(10)下降移动；

S8：打开插板阀门(3)，辅舱平台(9)上升或下降至主舱平台(10)与辅舱平台(9)的空平台架(13)平齐，经转运机构将载有已镀膜镜片的镜片架(29)由主舱平台(10)、插板阀门(3)的物料口(4)转运至辅舱平台(9)，辅舱平台(9)上升或下降至主舱平台(10)与辅舱平台(9)载有待镀膜镜片的镜片架(29)的平台架(13)平齐，经转运机构将载有待镀膜镜片的镜片架(29)由辅舱平台(9)、插板阀门(3)的物料口(4)、转运至主舱平台(10)，关闭插板阀门(3)；

S9：重复步骤S5、S6，并在辅舱(2)打开辅舱(2)进出料口(27)时、在对应平台架(13)上放入载有待镀膜镜片的镜片架(29)，取出已镀膜镜片的镜片架(29)；

S10：重复步骤S1至S9进行连续镀膜加工。

2.根据权利要求1所述的一种镜片双舱真空镀膜工艺，其特征在于，步骤S2、S3通过抽真空装置(28)对辅舱(2)和主舱(1)分别抽真空时，控制辅舱(2)、主舱(1)真空室内压力为4.5*10e5Torr，温度为60～300℃。