[发明专利]一种镜片双舱真空镀膜工艺有效

专利信息
申请号: 202110715201.X 申请日: 2021-06-26
公开(公告)号: CN113416934B 公开(公告)日: 2023-07-25
发明(设计)人: 李时代 申请(专利权)人: 丹阳市鼎新机械设备有限公司
主分类号: C23C14/30 分类号: C23C14/30;C23C14/56
代理公司: 苏州创策知识产权代理有限公司 32322 代理人: 毛辰杰
地址: 212300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 镜片 真空镀膜 工艺
【权利要求书】:

1.一种镜片双舱真空镀膜工艺,其特征在于,当镜片双舱真空镀膜机的主舱(1)与辅舱(2)真空环境一致且阀门开启连通时,将辅舱(2)内的待镀膜镜片向主舱(1)转运、或将主舱(1)内的已镀膜镜片向辅舱(2)转运;当主舱(1)与辅舱(2)之间的阀门关闭时,在主舱(1)内对镜片真空镀膜、在辅舱(2)内解除真空环境、放入待镀膜镜片或取出已镀膜镜片、并在放入或取出操作后抽真空至辅舱(2)与主舱(1)真空环境一致;重复转运、取放操作进行连续镜片真空镀膜;

镜片双舱真空镀膜机的主舱(1)和辅舱(2)之间通过插板阀门(3)启闭,所述插板阀门(3)上设有启闭、用于通过镜片的物料口(4);

所述插板阀门(3)内设有可以相对物料口(4)升降、前后移动的插板门板(5),所述插板门板(5)通过两侧同步竖直回转的第一链条(6)实现升降移动、通过两侧前后移动的气缸滑块(50)实现前后移动,第一链条(6)内设有同步旋转的第一链轮(7),插板门板(5)与物料口(4)内壁之间设有若干千斤顶(8);

镜片双舱真空镀膜机的辅舱(2)内通过可以升降的辅舱平台(9)取放镜片,主舱(1)内通过可以升降的主舱平台(10)承载镜片;

所述主舱平台(10)和辅舱平台(9)分别通过双舱真空镀膜机顶部四角处同步旋转的第二链轮(11)正反旋转、驱动啮合的第二链条(12)吊连主舱平台(10)或辅舱平台(9)、实现升降移动;

所述辅舱平台(9)包括至少两个平台架(13),所述平台架(13)、主舱平台(10)两侧设有对应旋转的若干第一滚轮(14)、阀门上设有对应第一滚轮(14)的第二滚轮(15),通过第一滚轮(14)、第二滚轮(15)滚动配合的移动平台(48)实现镜片转运,转运时通过镜片双舱真空镀膜机位于主舱平台(10)或辅舱平台(9)侧的传感器(16)感应定位;

镀膜时通过镜片双舱真空镀膜机主舱(1)顶部的旋转抓手(17)抓夹镜片并驱动镜片旋转,所述旋转抓手(17)包括减速旋转带动镜片旋转的齿轮套(18)、绕齿轮套(18)底部一周间隔且可外扩或内缩抓夹的夹板(19),所述夹板(19)通过顶部升降移动的夹头外环(20)锥面(21)配合、夹板(19)上活动滑板(22)与主舱(1)顶部的固定滑板(23)滑动配合、夹板(19)与固定滑板(23)之间的拉簧(24)作用实现外扩或内缩;

所述的一种镜片双舱真空镀膜工艺,其具体步骤如下:

S1:清洗镜片、待镀膜的镜片放置在镜片架(29)上;

S2:打开镜片双舱真空镀膜机的辅舱(2)进出料口(27),将步骤S1的镜片架(29)整体放入辅舱平台(9)的空平台架(13)上、关闭辅舱(2)进出料口(27),对镜片双舱真空镀膜机的辅舱(2)抽真空、加热作业;

S3:对镜片双舱真空镀膜机的主舱(1)进行抽真空、加热作业至与辅舱(2)压力、温度一致;

S4:打开镜片双舱真空镀膜机辅舱(2)与主舱(1)之间的插板阀门(3)、辅舱平台(9)与主舱平台(10)升降平齐,经转运机构将镜片架(29)整体由辅舱平台(9)、插板阀门(3)的物料口(4)转运至主舱平台(10)上、关闭插板阀门(3);

S5:主舱平台(10)在镜片双舱真空镀膜机的主舱(1)内上升、经旋转抓手(17)抓夹吊装镜片架(29),辅舱平台(9)下降脱离镜片架(29);

S6:由旋转抓手(17)驱动吊装的镜片架(29)旋转、并进行真空镀膜,同时辅舱(2)进气解除真空环境、重复步骤S2至辅舱(2)压力、温度与主舱(1)一致;

S7:镀膜结束后、主舱平台(10)上升,旋转抓手(17)停止旋转并解除对镜片架(29)的抓夹、使镜片架(29)随主舱平台(10)下降移动;

S8:打开插板阀门(3),辅舱平台(9)上升或下降至主舱平台(10)与辅舱平台(9)的空平台架(13)平齐,经转运机构将载有已镀膜镜片的镜片架(29)由主舱平台(10)、插板阀门(3)的物料口(4)转运至辅舱平台(9),辅舱平台(9)上升或下降至主舱平台(10)与辅舱平台(9)载有待镀膜镜片的镜片架(29)的平台架(13)平齐,经转运机构将载有待镀膜镜片的镜片架(29)由辅舱平台(9)、插板阀门(3)的物料口(4)、转运至主舱平台(10),关闭插板阀门(3);

S9:重复步骤S5、S6,并在辅舱(2)打开辅舱(2)进出料口(27)时、在对应平台架(13)上放入载有待镀膜镜片的镜片架(29),取出已镀膜镜片的镜片架(29);

S10:重复步骤S1至S9进行连续镀膜加工。

2.根据权利要求1所述的一种镜片双舱真空镀膜工艺,其特征在于,步骤S2、S3通过抽真空装置(28)对辅舱(2)和主舱(1)分别抽真空时,控制辅舱(2)、主舱(1)真空室内压力为4.5*10e5Torr,温度为60~300℃。

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