[发明专利]一种镜片双舱真空镀膜工艺有效
申请号: | 202110715201.X | 申请日: | 2021-06-26 |
公开(公告)号: | CN113416934B | 公开(公告)日: | 2023-07-25 |
发明(设计)人: | 李时代 | 申请(专利权)人: | 丹阳市鼎新机械设备有限公司 |
主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30;C23C14/56 |
代理公司: | 苏州创策知识产权代理有限公司 32322 | 代理人: | 毛辰杰 |
地址: | 212300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 镜片 真空镀膜 工艺 | ||
本发明涉及一种镜片双舱真空镀膜工艺,当镜片双舱真空镀膜机的主舱与辅舱真空环境一致且阀门开启连通时,将辅舱内的待镀膜镜片向主舱转运、或将主舱内的已镀膜镜片向辅舱转运;当主舱与辅舱之间的阀门关闭时,在主舱内对镜片真空镀膜、在辅舱内放真空、放入待镀膜镜片或取出已镀膜镜片、并在放入或取出操作后抽真空至辅舱与主舱真空环境一致;重复转运、取放操作进行连续镜片真空镀膜,通过待镀膜与已镀膜镜片在镜片双舱真空镀膜机可启闭的主舱与辅舱之间转换、使主舱始终处于真空环境进行连续镀膜,减小生产周期,真空下插板阀门、主舱平台、辅舱平台、转运机构、旋转抓手驱动结构可靠、显著提高镜片真空自动化镀膜效率、稳定性和镀膜质量。
技术领域
本发明涉及一种镜片双舱真空镀膜工艺,属于镜片真空镀膜技术领域。
背景技术
无机、有机等材料制成的镜片通过真空镀膜处理形成包括耐磨损硬膜、减反射膜、抗污顶膜、防水膜等一层或多层膜,有利于丰富镜片颜色、增加灰尘或砂砾摩擦造成的镜片磨损和表面划痕、减少镜面反射、避免屈光镜片前后表面曲率不提供产生的反射光鬼影虚像、重叠炫光等现象。现有技术中的镜片真空镀膜普遍采用单舱加工工艺,将装有待镀膜镜片的镜片架整体吊装在镀膜室顶部进行抽真空和加热至恒温操作、以去除真空镀膜室内的空气水分,由电子枪发生的电子束打在镀膜材料上离析成高能量分子、原子或离子飞行射向镜片架上、并附着或楔入镜片表面形成镀膜。
由于采用单舱真空镀膜设备和加工工艺,进料和真空镀膜前需要抽真空和加热操作、镀膜后需要进气解除真空环境、再打开舱门取出镀好膜的镜片架、放入和固定待镀膜的镜片架、关上舱门重复抽真空、加热作业,使相邻批次的镜片镀膜处理之间放真空和抽真空作业、镀膜真空室环境回稳时间较长,导致加工效率低下,难以连续镀膜加工,同时现有技术中的转运和驱动机构存在尺寸大、难以在真空环境下稳定运行等缺陷。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术的缺陷,提供一种镜片双舱真空镀膜工艺,通过待镀膜与已镀膜镜片在镜片双舱真空镀膜机可启闭的主舱与辅舱之间转换、使主舱始终处于真空环境进行连续镀膜,减小生产周期,真空下驱动结构可靠、显著提高镜片真空自动化镀膜效率、稳定性和镀膜质量。
本发明是通过如下的技术方案予以实现的:
一种镜片双舱真空镀膜工艺,当镜片双舱真空镀膜机的主舱与辅舱真空环境一致且阀门开启连通时,将辅舱内的待镀膜镜片向主舱转运、或将主舱内的已镀膜镜片向辅舱转运;当主舱与辅舱之间的阀门关闭时,在主舱内对镜片真空镀膜、在辅舱内解除真空环境、放入待镀膜镜片或取出已镀膜镜片、并在放入或取出操作后抽真空至辅舱与主舱真空环境一致;重复转运、取放操作进行连续镜片真空镀膜;
镜片双舱真空镀膜机的主舱和辅舱之间通过插板阀门启闭,所述插板阀门上设有启闭、用于通过镜片的物料口,所述插板阀门内设有可以相对物料口升降、前后移动的插板门板,所述插板门板通过两侧同步竖直回转的第一链条实现升降移动、通过两侧前后移动的气缸滑块实现前后移动,第一链条内设有同步旋转的第一链轮,插板门板与物料口内壁之间设有若干千斤顶;
镜片双舱真空镀膜机的辅舱内通过可以升降的辅舱平台取放镜片,主舱内通过可以升降的主舱平台承载镜片;所述主舱平台和辅舱平台分别通过双舱真空镀膜机顶部四角处同步旋转的第二链轮正反旋转、驱动啮合的第二链条吊连主舱平台或辅舱平台、实现升降移动;
所述辅舱平台包括至少两个平台架,所述平台架、主舱平台两侧设有对应旋转的若干第一滚轮、阀门上设有对应第一滚轮的第二滚轮,通过第一滚轮、第二滚轮滚动配合的移动平台实现镜片转运,转运时通过镜片双舱真空镀膜机位于主舱平台或辅舱平台侧的传感器感应定位;
镀膜时通过镜片双舱真空镀膜机主舱顶部的旋转抓手抓夹镜片并驱动镜片旋转,所述旋转抓手包括减速旋转带动镜片旋转的齿轮套、绕齿轮套底部一周间隔且可外扩或内缩抓夹的夹板,所述夹板通过顶部升降移动的夹头外环锥面配合、夹板上活动滑板与主舱顶部的固定滑板滑动配合、夹板与固定滑板之间的拉簧作用实现外扩或内缩;
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