[发明专利]一种激光光点位置校正方法及设备

说明书

本发明公开了一种激光光点位置校正方法及设备，其中方法包括：使标记头发出激光，在第一定位部上形成激光光斑；第一定位部固定在置放台上；获取激光光斑的重心坐标点；调整上相机的参数，使上相机的镜头中心点和激光光斑的重心坐标点重合；其中，标记头固定在激光标记装置中；上相机固定在第一定位部的上方，且上相机的镜头朝向第一定位部。标记头设置好参数以后，向第一定位部发出一束激光，在第一定位部形成一个光斑，上相机对其进行拍摄，获得激光光斑图像，通过调整上相机的参数，使上相机拍摄到激光光斑图像的视野中心点和激光光斑的重心坐标点重合，实现相机补偿，从而确保标记头的精度。

技术领域

本发明涉及激光标识技术领域，具体涉及一种激光光点位置校正方法及设备。

背景技术

晶圆标记是利用高能量密度激光束，对晶圆表面进行局部照射，使表层材料迅速汽化或发生颜色变化，从而露出深层物质，或者使表层物质化学物理变化而刻出痕迹，或者通过光能烧掉部分物质，显出所需刻蚀的图形、文字。

在现有技术中，大多还是采用传统机械定位方式，在分析工件定位方案时，通常利用了定位支承点，即“六点定则”这一概念。当工件在夹具中实际定位时，并不是采用这种理论上的“点”与工件的定位基准面相接触，而是把定位支承“点”转化为具体的定位元件，即通过各种类型的定位元件来实现定位，也就是要根据工件的具体结构特点和工序加工精度要求去选取不同的定位形式，如平面、外圆柱面、圆孔、型面、组合面等。晶圆上有一个缺口，通过这个缺口来实现中心定位，这种传统的机械定位方式不仅定位精度低，效率低，速度慢，而且会在夹紧校准的过程中损伤晶圆，是非常落后的。

因此，如何使激光标记装置能够快速高效地实现初始定位成为亟待解决的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种激光光点位置校正方法及设备，以解决激光标记装置用传统机械定位方式存在定位精度低，效率低和速度慢的问题。

本发明实施例提供了一种激光光点位置校正方法，包括：

使标记头发出激光，在第一定位部上形成激光光斑；第一定位部固定在置放台上；

获取激光光斑的重心坐标点；

调整上相机的参数，使上相机的视野中心点和激光光斑的重心坐标点重合；

其中，标记头固定在激光标记装置中；上相机固定在置放台的上方，且上相机的镜头朝向第一定位部。

可选地，获取激光光斑的重心坐标点包括：

通过计算机视觉放大激光光斑；

根据激光光斑的不规则轮廓和能量强度，计算出激光能量中心，将激光能量中心作为重心坐标点。

可选地，调整上相机的参数，使上相机的视野中心点和激光光斑的重心坐标点重合，包括：

假设上相机的镜头中心点在原点（0,0），激光能量中心在点O（X₁，Y₁），则激光能量中心距离上相机视野中心的在X轴的偏移量为X₁，激光能量中心距离上相机视野中心的在Y轴的偏移量为Y₁；

调整上相机的参数，使上相机在X轴上的偏移量X=X₁，使上相机在Y轴上的偏移量Y=Y₁；

其中，上相机的参数还包括焦距参数、光圈中心参数和畸变参数中的至少一种。

可选地，置放台内还包括第二定位部；第二定位部的中心设有定位点。

可选地，第二定位部采用透明材质制成，以使上相机和下相机获取到第二定位部中心的定位点。

可选地，在使标记头发出激光，在第一定位部上形成激光光斑之前，还包括：