[发明专利]载置台装置、曝光装置以及物品的制造方法

权利要求书

1.一种载置台装置，

所述载置台装置用于在扫描方向上相对地扫描原版和基板的同时对所述基板进行曝光的扫描型的曝光装置，所述载置台装置在所述扫描方向上扫描所述基板，

其特征在于，

所述载置台装置具有：

载置台，保持并移动所述基板；

第一单元，包括第一电磁铁，且该第一单元将由所述第一电磁铁产生的力作为使所述载置台在所述扫描方向上加速的力而施加于所述载置台；

第二单元，包括第二电磁铁，且该第二单元将由所述第二电磁铁产生的力作为使所述载置台在与所述扫描方向交叉的方向上加速的力而施加于所述载置台；以及

移动部，使设置有所述第一单元以及所述第二单元的构造体移动，

将所述第二电磁铁的铁芯投影到以与所述扫描方向交叉的方向为法线的平面上而得到的投影面积比将所述第一电磁铁的铁芯投影到以所述扫描方向为法线的平面上而得到的投影面积大。

2.根据权利要求1所述的载置台装置，其特征在于，

将所述第二电磁铁的铁芯投影到以与所述扫描方向交叉的方向为法线的平面而得到的投影面积具有将所述第一电磁铁的铁芯投影到以所述扫描方向为法线的平面而得到的投影面积的1.1倍以上的大小。

3.根据权利要求1所述的载置台装置，其特征在于，

所述载置台装置进一步具有：

第三单元，控制所述载置台在所述扫描方向上的位置；以及

第四单元，控制所述载置台在与所述扫描方向交叉的方向上的位置。

4.根据权利要求1所述的载置台装置，其特征在于，

若将所述载置台的加速度设为SA[G]，且将所述载置台的扫描速度设为SV[m/s]，则所述载置台装置满足

SA/SV4.5。

5.根据权利要求1所述的载置台装置，其特征在于，

所述扫描方向和与所述扫描方向交叉的方向正交。

6.一种载置台装置，

所述载置台装置用于在扫描方向上相对地扫描原版和基板的同时对所述基板进行曝光的扫描型的曝光装置，所述载置台装置在所述扫描方向上扫描所述基板，

其特征在于，

所述载置台装置具有：

载置台，保持并移动所述基板；

第一单元，包括第一线性马达，且该第一单元将由所述第一线性马达产生的力作为使所述载置台在所述扫描方向上加速的力而施加于所述载置台；

第二单元，包括第二线性马达，且该第二单元将由所述第二线性马达产生的力作为使所述载置台在与所述扫描方向交叉的方向上加速的力而施加于所述载置台；

移动部，使设置有所述第一单元以及所述第二单元的构造体移动，

所述第二线性马达的线圈及磁铁各自的体积的总和比所述第一线性马达的线圈及磁铁各自的体积的总和大。

7.根据权利要求6所述的载置台装置，其特征在于，

所述第二线性马达的线圈及磁铁各自的体积的总和为所述第一线性马达的线圈及磁铁各自的体积的总和的1.1倍以上。

8.根据权利要求6所述的载置台装置，其特征在于，

所述载置台装置进一步具有：

第三单元，控制所述载置台在所述扫描方向上的位置；以及

第四单元，控制所述载置台在与所述扫描方向交叉的方向上的位置。

9.根据权利要求6所述的载置台装置，其特征在于，

若将所述载置台的加速度设为SA[G]，且将所述载置台的扫描速度设为SV[m/s]，则所述载置台装置满足

SA/SV4.5。

10.根据权利要求6所述的载置台装置，其特征在于，

所述扫描方向和与所述扫描方向交叉的方向正交。