[发明专利]载置台装置、曝光装置以及物品的制造方法

说明书

本发明提供载置台装置，用于在扫描方向上相对地扫描原版和基板的同时对基板进行曝光的扫描型的曝光装置，在扫描方向上扫描基板，其特征在于，具有：载置台，保持并移动基板；第一单元，包括第一电磁铁，且将由第一电磁铁产生的力作为使载置台在扫描方向上加速的力而施加于载置台；第二单元，包括第二电磁铁，且将由第二电磁铁产生的力作为使载置台在与扫描方向交叉的方向上加速的力而施加于载置台；以及移动部，使设置有第一单元以及第二单元的构造体移动，将第二电磁铁的铁芯投影到以与扫描方向交叉的方向为法线的平面上而得到的投影面积比将第一电磁铁的铁芯投影到以扫描方向为法线的平面上而得到的投影面积大。

技术领域

本发明涉及载置台装置、曝光装置以及物品的制造方法。

背景技术

在使用光刻技术制造半导体器件、液晶显示器件、摄像器件、磁头等物品时，使用步进扫描方式(扫描型)的曝光装置。该曝光装置也被称为扫描仪，一边使原版与基板相对地扫描(scan)一边将原版的图案转印到曝光区域，在一个曝光区域的扫描曝光结束后，为了对下一个曝光区域进行扫描曝光而使基板步进移动。

另外，如日本特开2005-109522号公报、日本特开平8-130179号公报所公开的那样，在曝光装置中，作为保持基板并能够移动的载置台装置，具备包含微动载置台和粗动载置台的载置台装置。通过该载置台装置，在扫描曝光中，能够使基板与原版同步地在第一方向上移动，在扫描曝光结束后，使基板一边在与第一方向相反的第二方向上进行U形转弯一边在与第一方向及第二方向正交的第三方向上步进移动。另外，对于微动载置台而言，利用电磁铁进行加速，利用线性马达进行位置控制，从而兼顾高精度的位置控制和低发热。

在扫描型的曝光装置中，为了实现高生产率，需要在一个曝光区域的扫描曝光结束后，在使基板进行U形转弯的期间使基板的步进移动结束。因此，在载置台装置中，对于微动载置台的加速度，要求使与扫描方向正交的方向(以下称为X方向)的加速度大于扫描方向(以下称为Y方向)的加速度。

微动载置台的加速度取决于由电磁铁产生的力(最大产生力)，电磁铁的最大产生力由将电磁铁的吸引面积投影到以推力方向为法线的平面上而成的投影面积决定。因此，为了增大X方向的加速度，不得不增加在X方向上产生力的电磁铁(X电磁铁)的吸引面积的投影面积。然而，以往，以X电磁铁的吸引面积的投影面积与在Y方向上产生力的电磁铁(Y电磁铁)的吸引面积的投影面积相等的方式构成X电磁铁及Y电磁铁。因此，由于X电磁铁的尺寸的增加，Y电磁铁的尺寸也增加，整体的质量也增加。

发明内容

本发明提供一种在不增加整体的尺寸、质量的情况下有利于提高扫描型的曝光装置的生产率的载置台装置。

[用于解决课题的技术方案]

作为本发明的一技术方案的载置台装置，所述载置台装置用于在扫描方向上相对地扫描原版和基板的同时对所述基板进行曝光的扫描型的曝光装置，所述载置台装置在所述扫描方向上扫描所述基板，其特征在于，所述载置台装置具有：载置台，保持并移动所述基板；第一单元，包括第一电磁铁，且该第一单元将由所述第一电磁铁产生的力作为使所述载置台在所述扫描方向上加速的力而施加于所述载置台；第二单元，包括第二电磁铁，且该第二单元将由所述第二电磁铁产生的力作为使所述载置台在与所述扫描方向交叉的方向上加速的力而施加于所述载置台；以及移动部，使设置有所述第一单元以及所述第二单元的构造体移动，将所述第二电磁铁的铁芯投影到以与所述扫描方向交叉的方向为法线的平面上而得到的投影面积比将所述第一电磁铁的铁芯投影到以所述扫描方向为法线的平面上而得到的投影面积大。