[发明专利]一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置

权利要求书

1.一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置，所述用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置包括：

HMDS罐(1)，用于提供HMDS气体；

密封保护罩(2)，HMDS罐(1)安装在密封保护罩(2)内部，密封保护罩(2)内部处于密封状态；

氮气上料机构(3)，设置在密封保护罩(2)旁侧，氮气上料机构(3)的输出端延伸至密封保护罩(2)内部，用于提供氮气；

其特征在于，所述用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置还包括：

机架，设置在密封保护罩(2)旁侧；

排风机构(4)，安装在机架上，排风机构(4)的抽气端设置在密封保护罩(2)内部，排风机构(4)的排气端设置在密封保护罩(2)外侧，用于对密封保护罩(2)内部进行抽气操作，实现密封保护罩(2)内部气体排气功能；

吸收机构(5)，设置在排风机构(4)上，用于对排风机构(4)抽取的气体中的HMDS进行吸收收集，将剩余气体排出；

自动回收机构(6)，设置在机架上，自动回收机构(6)的抽气端与密封保护罩(2)内侧顶端密封连接，用于将泄露的HMDS气体压缩收集；

控制器(7)，设置在密封保护罩(2)外侧壁上；

泄露检测传感器(8)，设置在密封保护罩(2)内侧，泄露检测传感器(8)与控制器(7)电连接，用于检测密封保护罩(2)内部的HMDS浓度，从而检测HMDS是否泄露；

密封保护罩(2)外侧壁上安装有警报器(33)，警报器(33)与泄露检测传感器(8)和控制器(7)均电连接，用于在泄露检测传感器(8)检测到泄露是进行报警。

2.根据权利要求1所述的一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置，其特征在于，排风机构(4)有第一抽气泵(9)、第一抽气管(10)、第一导气管(11)、排气管(12)和第三电磁阀(13)，第一抽气泵(9)安装在机架上，第一抽气管(10)的一端与密封保护罩(2)的内部密封连通，第一抽气管(10)的另一端与第一抽气泵(9)的抽气端连通，第一导气管(11)的一端与第一抽气泵(9)的出气端连通，第一导气管(11)的另一端与吸收机构(5)进气端连通，排气管(12)的一端与吸收机构(5)的排气端连通，第三电磁阀(13)安装在第一抽气管(10)靠近密封保护罩(2)的一端。

3.根据权利要求2所述的一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置，其特征在于，排风机构(4)还包括压差表(16)，压差表(16)安装在第一导气管(11)上。

4.根据权利要求2所述的一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置，其特征在于，排风机构(4)还包括第一气体流量检测传感器(14)和第一单向阀(15)，第一气体流量检测传感器(14)固定安装在排气管(12)上，第一单向阀(15)安装在排气管(12)上，第一单向阀(15)位于第一气体流量检测传感器(14)远离吸收机构(5)的一端。

5.根据权利要求2所述的一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置，其特征在于，吸收机构(5)包括吸收塔(17)、废液收集箱(18)和喷液组件，吸收塔(17)竖直安装在机架的旁侧，废液收集箱(18)设置在吸收塔(17)的正下方，吸收塔(17)的排液管与废液收集箱(18)内部连通，喷液组件安装在机架上，喷液组件的输出端穿过吸收塔(17)的顶端设置在吸收塔(17)的内部。

6.根据权利要求5所述的一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置，其特征在于，喷液组件包括磷酸存放箱(19)、导液管(20)和雾化喷头(21)，磷酸存放箱(19)设置在机架顶端，雾化喷头(21)设有若干个，若干个雾化喷头(21)沿着吸收塔(17)轴线环形分布在吸收塔(17)的顶端，雾化喷头(21)的输出端贯穿吸收塔(17)顶端延伸至吸收塔(17)的内部，导液管(20)的一端与磷酸存放箱(19)内部连通，导液管(20)的另一端分别与若干个雾化喷头(21)的输入端依次连通。